ASE APG-3000PRO ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
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- 公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 ASE APG-3000PRO
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/6/2 15:37:37
- 訪問次數 518
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| 供貨周期 | 現貨 | 應用領域 | 電子,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | RF GENERATOR | 品牌 | ASE |
| 型號 | APG-3000PRO | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設備狀態(tài) | Refurbished |
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator 是經過現場長期驗證的具有優(yōu)良可靠性和穩(wěn)定輸出能力的高性能射頻電源，主要運用在半導體濺射、CVD、PECVD、蝕刻等制程中。ASE APG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力，能夠實現對射頻輸出的精準控制。APG 系列射頻電源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導體制程薄膜工藝中具有廣泛應用，能夠在一定程度上的提高產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設計，小巧便捷，能夠降低客戶的使用成本。
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator 參數規(guī)格
設備品牌：ASE
設備型號：APG-3000PRO
AC 電源輸入：3 phase~ ，AC200~220V，50/60Hz，5.3kVA
RF 射頻輸出：13.56MHz，3000W
通訊接口：Remote Control，RS-232C，EXT In/Out
設備散熱：風冷+水冷
水冷進水流量：4.0L/min（1.05Gal/min）
水冷進水水壓：MAX 0.5MPa
水冷進水水溫：10℃~35℃
Fitting：NPT1/4（Female）
設備重量：24kg（52.8lbs）
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