MKS RD5060Z MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) MKS RD5060Z
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/6/3 12:00:12
- 訪問次數(shù) 511
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號(hào) | RD5060Z-01 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型號(hào) | RD5060Z |
| P/N | RD5060Z-01 | 射頻 | 60MHz |
| 輸出功率 | 2000W | 設(shè)備狀態(tài) | Refurbished |
MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器，在實(shí)機(jī)驗(yàn)證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)，在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率，具有十分廣泛的應(yīng)用。
MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：MKS
設(shè)備型號(hào)：RD5060Z
AC 電源輸入：3 phase~ ，480V，15A
RF 射頻輸出：DUAL 2.0KW，60MHz
通訊接口：CEX In/Out，Profibus，EtherNet，Sync In/Out，Reserved，RS-232C
設(shè)備散熱：水冷散熱
設(shè)備重量：445kg，98lbs
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