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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>FPPIC-R-200-standard 科研型原子層沉積系統(tǒng),picosun公司ALD系統(tǒng)

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FPPIC-R-200-standard 科研型原子層沉積系統(tǒng),picosun公司ALD系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FPPIC-R-200-standard
  • 產(chǎn)地 www.felles.cn/ald.html
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2022/11/14 11:20:26
  • 訪問次數(shù) 1066

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀是光學(xué)世紀,激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學(xué)為特色的進口儀器和實驗室設(shè)備公司,擁有齊全的進口精密(光學(xué))儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術(shù)儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction,

光:光學(xué)/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學(xué),致力于光學(xué)精密儀器事業(yè)。


公司價值
孚光精儀-精通光學(xué),服務(wù)科學(xué)

經(jīng)驗豐富的激光和光學(xué)技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認適合應(yīng)用的精密

光學(xué)儀器和科學(xué)儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經(jīng)驗和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務(wù)!
齊全的光學(xué)種類
涵蓋了所有光學(xué)和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學(xué)成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學(xué)儀器)

分子生物學(xué)

光學(xué)儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學(xué)儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測試儀器

光學(xué)成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學(xué)檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學(xué)內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學(xué)顯微鏡

通用

實驗室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學(xué)技術(shù)的實驗儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學(xué)

生命科學(xué)

醫(yī)學(xué)成像

制藥

食品工程

化學(xué)和化工

 

實驗室儀器實驗室建設(shè)

流體力學(xué)

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動機研發(fā)

航空航天

地球物理科學(xué)

地質(zhì)和石油勘探


半導(dǎo)體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學(xué)

儀器科學(xué)與技術(shù)

-------


客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應(yīng)商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關(guān),進出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導(dǎo)                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團公司53

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中國科技大學(xué)


哈爾濱工業(yè)大學(xué)
山東大學(xué)
武漢大學(xué)
南開大學(xué)

天津大學(xué)


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

科研型原子層沉積系統(tǒng)ALD系芬蘭picosun公司R-200 standard原子層沉積技術(shù),熱壁設(shè)計和單獨的入口,可實現(xiàn)無顆粒工藝,適用于晶圓,3D對象和所有納米級特征上的多種材料。
科研型原子層沉積系統(tǒng)具有專有的Picoflow™技術(shù),即使在挑戰(zhàn)性的通孔,超高長寬比和納米顆粒樣品上也可以實現(xiàn)出色的均勻性。 R-200 standard原子層沉積配備了功能強大且易于更換的液態(tài),氣態(tài)和固態(tài)化學(xué)物質(zhì)前體源。與手套箱,粉末室和各種原位分析系統(tǒng)集成,無論您現(xiàn)在的研究領(lǐng)域是什么,或以后可能成為什么樣的研究領(lǐng)域,都可以進行高效,靈活的研究,并獲得良好的結(jié)果。
科研型原子層沉積系統(tǒng)ALD適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā),例如IC組件,MEMS器件,顯示器,LED,激光和3D對象,例如透鏡,光學(xué)器件,珠寶,硬幣和醫(yī)療植入物。熱ALD研究工具的市場領(lǐng)dao者。它已成為創(chuàng)新驅(qū)動的公司和研究機構(gòu)的shou選工具。
科研型原子層沉積系統(tǒng)ALD技術(shù)指標

襯底尺寸和類型50 – 200 mm /單片
zui大可沉積直徑150 mm基片,豎直放置,10-25片/批次(根據(jù)工藝)
156 mm x 156 mm 太陽能硅片
3D 復(fù)雜表面襯底(使用Showerhead噴灑淋浴模式效果更佳)
粉末與顆粒(配備擴散增強器)
多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品
工藝溫度50 – 500 °C, 可選更高溫度(真空腔體外壁不用任何冷卻方式即可保持溫度低于60 °C)
基片傳送選件氣動升降(手動裝載)
預(yù)真空室安裝磁力操作機械手(Load lock )
前驅(qū)體液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
4根du立源管線,zui多加載6個前驅(qū)體源
對蒸汽壓低的前驅(qū)體(1mbar~10mbar),用氮氣等載氣dao入前驅(qū)體瓶內(nèi)引出
重量350kg
尺寸( W x H x D))取決于選件
zui小146 cm x 146 cm x 84 cm
zui大189 cm x 206 cm x 111 cm
選件PICOFLOW™擴散增強器,集成橢偏儀,QCM, RGA,N2發(fā)生器,尾氣處理器,定制設(shè)計,手套箱集
成(用于惰性氣體下裝載)。
驗收標準標準設(shè)備驗收標準為 Al2O3 工藝



應(yīng)用領(lǐng)域
客戶使用PICOSUN™ R系列ALD 設(shè)備在150mm和200mm(6”和8”)晶圓上所沉積薄膜厚度均勻性數(shù)據(jù)。

材料非均勻性(1σ)
AI2O3 (batch)0.13%
SiO2 (batch)0.77%
TiO20.28%
HfO20.47%
ZnO0.94%
Ta2O51.00%
TiN1.10%
CeO21.52%
Pt3.41%





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