NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
參考價(jià) | ¥ 1250000 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱(chēng) 江蘇布魯克電子有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/11/17 17:11:58
- 訪問(wèn)次數(shù) 1765
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電源,負(fù)載,示波器,功率計(jì),安規(guī),頻譜,顯微鏡,環(huán)境試驗(yàn)箱,ATE測(cè)試系統(tǒng),FCT測(cè)試系統(tǒng)
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類(lèi) | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
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價(jià)格區(qū)間 | 100萬(wàn)-200萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
μscan系列機(jī)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測(cè)量,粗糙度測(cè)量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測(cè)量較大面積的樣品,而不用通過(guò)拼接。
μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測(cè)量)連用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。
CF4激光共聚焦傳感器內(nèi),被照亮的小孔成像在被測(cè)量的表面,激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測(cè)物上,只有當(dāng)焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對(duì)的時(shí)候,探測(cè)器才記錄到一個(gè)表面信號(hào)。因此物鏡得通過(guò)小的垂直步位移動(dòng),使信號(hào)通過(guò)位移傳感器的位置移動(dòng)被測(cè)出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù),該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀