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ISC150T 高真空離子濺射儀

參考價 200000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市速普儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 ISC150T
  • 產(chǎn)地 深圳市南山區(qū)南山街道桂廟路北向南瑞峰花園 1 棟 209
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2023/2/20 11:39:24
  • 訪問次數(shù) 421

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


SuPro Instruments成立于2012年,位于深圳市南山*園片區(qū)。

公司擁有一群熱愛產(chǎn)品設(shè)計(jì)與儀器開發(fā)的博士碩士年輕隊(duì)伍,致力于材料表面處理和真空薄膜領(lǐng)域提供敏捷+精益級制備、測量和控制儀器

目前公司的主要產(chǎn)品有 電鏡制樣方面:離子濺射噴金儀,輝光放電儀,TEM離子清洗儀,磁控濺射噴碳儀,TEM真空儲存站等儀器;

光電薄膜行業(yè):薄膜應(yīng)力儀

硬質(zhì)涂層行業(yè): 球坑膜厚儀及應(yīng)力儀

電鏡制樣設(shè)備,噴金儀,噴碳儀,離子清洗儀,輝光放電儀薄膜應(yīng)力儀,球坑儀

靶材材質(zhì) au/pt/pd/W/C/Cr/NI/Cu 靶材尺寸 50mm
產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 10萬-30萬
濺射氣體 空氣/Ar 控制方式 觸摸屏
樣品倉尺寸 150*120mm 樣品臺尺寸 80mm
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,地礦,電子/電池,航空航天,汽車及零部件

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)

真空泵組

 進(jìn)口品牌無油干泵+分子泵組

泵組抽速

 >0.7 m3/h隔膜泵+60 L/S 分子泵

極限真空

 <10E-3 Pa

工作氣壓

 0.5-2 Pa

抽空時間

 <5 Min

真空測量

測量范圍大氣壓到10E-3 Pa,進(jìn)口品牌真空計(jì)

氣體控制

 MFC氣體質(zhì)量流量控制器(50 SCCM Ar

腔室尺寸

 ~? 150 *110 mm 耐劃傷石英玻璃

標(biāo)配全鋁腔體自動旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)樣品臺

磁控靶源

 靶材尺寸 ? 50 *0.1-3 mm (建議厚度>0.2 mm)/ 帶手動擋板

 可濺射貴金屬Au/Pt等,也可濺射Cr、WAg等常規(guī)金屬(通Ar氣)

濺射電源

 恒功率磁控DC濺射電源 Max. 30W ,Max. 100 mA

濺射時間

 可程序設(shè)定

操作方式

觸摸屏控制

重量尺寸

~30 Kg / 500 mm*400 mm*470 mm

輸入電源

 110-220V AC50/60Hz 接地三腳插頭

輸入功耗

 <500 W

冷卻方式

 風(fēng)冷

質(zhì)量保證

 一年免費(fèi)/終身維護(hù)

備注

 以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知,如有疑問請聯(lián)系我們





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