常州普樂斯大氣壓等離子清洗機(jī)RTR100L-W500
| 參考價 | ￥1.00 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 昆山普樂斯電子科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號
- 所在地蘇州市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2023/12/14 10:17:52
- 訪問次數(shù) 319
產(chǎn)品標(biāo)簽
規(guī)格
| 1 | 1.00元 | 9999 臺 可售 |
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
型號 | RTR100L-W500 | |
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） |
PLC（標(biāo)配）/PC（可選） | ||
操作系統(tǒng) | Windows 10 | |
觸摸屏 | 7寸 | |
整機(jī)規(guī)格 | 尺寸 | W6900×D1650×H1150mm |
腔體 | 處理寬幅 | <520mm |
材質(zhì) | 鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選），腔體3段式 | |
冰水機(jī) | 通路 | 用于電源、電極、真空泵浦的冷卻 |
供電 | AC380V、3PH、50/60Hz、3KW | |
蝕刻能效 | 速率 | ≥0.5µm/Min |
均勻性 | ≥90% | |
真空計 | 薄膜硅電容耐腐蝕 | 1個，0-10Torr |
流量計 | MFC | 4個，量程0-2000ml/min |
真空泵 | 干泵機(jī)組（螺桿泵+羅茨泵） | 1套，120m3/h+1800 m3/h；極限真空值≤50mTorr |
發(fā)生器 | 中頻 | 40KHz，20KW |
溫度控制系統(tǒng) | 過程溫度控制 | 30-150℃恒定可控 |
張力控制系統(tǒng) | 數(shù)顯張力 | - |
其它 | 工藝氣體：14MPa減壓至0.3MPa，O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999% 氣體壓力：0.2MPa≤氣源≤1MPa；氣源壓力：0.3-0.8MPa；氣源純度：無油無水干燥氣體；工作環(huán)境溫度：≤30℃；凍水流量：5 SLM；干燥Air/N2流量：17 SLM | |
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