PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海沛沅儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 PLUTOVAC
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/17 16:06:04
- 訪問次數(shù) 1651
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,制藥,綜合 |
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PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機特點:
1. 桌面型,性能穩(wěn)定、操作簡便、使用成本極低、易于維護,高性價比。
2.小身材,有效處理面積大,可以輕松處理8寸硅片去膠等應(yīng)用,最大可以處理203mm*203mm樣品。
3.采用氣浴電極,清洗效率高。
4.靈活的電極配置方案,最多可以處理2片8寸硅片
5.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。
PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機參數(shù):
1. 真空腔規(guī)格: 材質(zhì)6061-T6鋁合金 240mm*300mm*200mm
2. 電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
3. 電極尺寸:205mm *205mm
4. 頻率:13.56MHz (可選配40KHz射頻等離子源)
5. 功率:0-500W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)
6. 氣體控制:針式氣體流量閥, 60-600ml 2路氣體
7. 真空計:電偶式真空計,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)