RTEC 白光干涉儀+共聚焦一體機
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司
- 品牌 RTEC
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/9 14:46:20
- 訪問次數(shù) 2674
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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高階軟件分析功能
全套的分析功能:
- 2D形貌、3D形貌、二進制圖像、顯微圖像、等高線圖像。
- 提取區(qū)域、提取剖面、抽取邊界輪廓、將一個表面轉(zhuǎn)換為一個剖面系列、重新取樣、基準面校平。
- 表面紋理與形狀參數(shù)如各種標準的面粗糙度、線粗糙度、距離&角度測量、臺階高度、面面角度差、方向&斜率。
- 圖形&紋理單元的檢測分析、顆粒&凸起&凹洞&空隙等特征統(tǒng)計數(shù)據(jù)、分形分析、孔/磨痕的體積、波谷深度、紋 理方向、體積參數(shù)、切片分析。
- 可創(chuàng)建分析模板,只需導入數(shù)據(jù)文件,自動生成測試報告。
- 滿足ISO 25178、ISO 4287、ASME B46.1、EUR 15178、ISO 16610-61、ISO 16610-62、ISO 16610-71等。
半導體方向的應用-晶圓/芯片,MEMS,Mask,PCB,Microlens,絕緣層等
① 各種減薄、研磨、拋光之后的表面粗糙度、表面三維形貌、加工紋理、瑕疵的檢測
② 晶圓IC制造過程中各種微納結(jié)構(gòu)的三維形貌、臺階高度等三維尺寸、制造缺陷的檢測、以及光罩上的異物和瑕疵檢測
③ 薄膜的厚度、表面粗糙度及缺陷的測量
④ 表面機械損傷、表面冗余物的檢測