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Stage-Base TMC混合壓電陶瓷電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)
參考價(jià) | ¥ 399999 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 青島森泉光電有限公司
- 品牌 TMC
- 型號(hào) Stage-Base
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/10 11:12:20
- 訪問(wèn)次數(shù) 1603
光學(xué)平臺(tái)主動(dòng)隔振系統(tǒng)壓電陶瓷隔振平臺(tái)TMC主被動(dòng)結(jié)合平臺(tái)TMC隔振系統(tǒng)
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-3萬(wàn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,綜合 |
TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)
TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)新的解決方案,以滿(mǎn)足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專(zhuān)為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的高級(jí)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主要消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)能夠非常快速地穩(wěn)定,以最大限度地提高工具吞吐量。通過(guò)增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩(wěn)定時(shí)間,進(jìn)一步提高吞吐量,從而為移動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用提供zui先jin的主動(dòng)振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)消除系統(tǒng)。
優(yōu)點(diǎn):
Stage-Base 450采用了下一代主動(dòng)硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù)。只有TMC可以提供這種特別的高級(jí)低頻消振串行型技術(shù),通過(guò)使用音圈電機(jī)(VCM),實(shí)現(xiàn)了主動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)消除。
Stage-Base 450下一代主動(dòng)控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術(shù),使用壓電致動(dòng)器和串行式架構(gòu)中的剛性懸架實(shí)現(xiàn)了zhuo越的消振。這實(shí)現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)最佳地面隔振,響應(yīng)于平臺(tái)力的初始偏轉(zhuǎn)明顯更小。
規(guī)格:
采用特別的STACIS®技術(shù)
采用高力、加長(zhǎng)行程的壓電致動(dòng)器
有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以?xún)?nèi)
框架安裝設(shè)計(jì)
6個(gè)主動(dòng)自由度
可選的VCM前饋和/或反饋
始于0.6 Hz的主動(dòng)隔振
響應(yīng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的快速穩(wěn)定時(shí)間
無(wú)軟空氣懸架
通過(guò)USB 2.0實(shí)現(xiàn)基于PC的圖形用戶(hù)界面(GUI)的高速數(shù)字控制器
簡(jiǎn)單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效
TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)
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