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Stage-Base TMC混合壓電陶瓷電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)

參考價(jià) 399999
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 青島森泉光電有限公司
  • 品牌 TMC
  • 型號(hào) Stage-Base
  • 產(chǎn)地 美國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/10/10 11:12:20
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1603

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森泉光電有限公司是專(zhuān)業(yè)從事光電相關(guān)領(lǐng)域儀器設(shè)備代理與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)的綜合性服務(wù)商,專(zhuān)注于光電產(chǎn)品及輔助設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、代理與銷(xiāo)售。公司總部設(shè)立在美麗的海濱城市-青島,在上海、北京設(shè)有分公司,業(yè)務(wù)范圍涵蓋國(guó)內(nèi)各大高校、科研院所及眾多zhiming企業(yè),深受廣大用戶(hù)歡迎。

森泉光電有限公司代理和經(jīng)銷(xiāo)的產(chǎn)品種類(lèi)十分豐富,涉及到激光、光學(xué)、光電子、光通訊、微機(jī)電、自動(dòng)化、物理、化學(xué)、電子、生物、農(nóng)業(yè)等等領(lǐng)域??蔀榭蒲屑捌髽I(yè)用戶(hù)提供光學(xué)實(shí)驗(yàn)及檢測(cè)的全套解決方案,并提供全面的售前、售中、售后支持與服務(wù)。










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產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 1萬(wàn)-3萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,綜合

TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)

TMC混合壓電陶瓷電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)

TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)新的解決方案,以滿(mǎn)足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專(zhuān)為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的高級(jí)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主要消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)能夠非常快速地穩(wěn)定,以最大限度地提高工具吞吐量。通過(guò)增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩(wěn)定時(shí)間,進(jìn)一步提高吞吐量,從而為移動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用提供zui先jin的主動(dòng)振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)消除系統(tǒng)。

優(yōu)點(diǎn):

Stage-Base 450采用了下一代主動(dòng)硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù)。只有TMC可以提供這種特別的高級(jí)低頻消振串行型技術(shù),通過(guò)使用音圈電機(jī)(VCM),實(shí)現(xiàn)了主動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)消除。

Stage-Base 450下一代主動(dòng)控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術(shù),使用壓電致動(dòng)器和串行式架構(gòu)中的剛性懸架實(shí)現(xiàn)了zhuo越的消振。這實(shí)現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)最佳地面隔振,響應(yīng)于平臺(tái)力的初始偏轉(zhuǎn)明顯更小。

規(guī)格:

采用特別的STACIS®技術(shù)

采用高力、加長(zhǎng)行程的壓電致動(dòng)器

有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以?xún)?nèi)

框架安裝設(shè)計(jì)

6個(gè)主動(dòng)自由度

可選的VCM前饋和/或反饋

始于0.6 Hz的主動(dòng)隔振

響應(yīng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的快速穩(wěn)定時(shí)間

無(wú)軟空氣懸架

通過(guò)USB 2.0實(shí)現(xiàn)基于PC的圖形用戶(hù)界面(GUI)的高速數(shù)字控制器

簡(jiǎn)單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)



TMC混合壓電陶瓷電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng)



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