便捷的可用性：

納米級超高分辨率掃描電鏡簡單易學(xué)，減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持，需要自動化工作流程，以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的操作。

圖像質(zhì)量：

納米級超高分辨率掃描電鏡EVO擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

智能導(dǎo)航與成像：

大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

蔡司導(dǎo)航相機(jī)：

相機(jī)可以安裝在倉室前方，以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機(jī))；或安裝在真空室倉門上方 (導(dǎo)航相機(jī))，利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預(yù)定義位置， 并在整個樣品測試過程中導(dǎo)航。

自動化智能成像：

EVO實現(xiàn)了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。能夠自定義邊界區(qū)域，自動生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

使用六硼化鑭電子發(fā)射器獲得圖像:

六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個方面:

1、在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易。

2、在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率。

技術(shù)參數(shù)：

EVO 應(yīng)用案例

生產(chǎn)與裝配企業(yè)：

納米級超高分辨率掃描電鏡在質(zhì)量分析/質(zhì)量控制；失效分析/金相分析；清潔度檢查；顆粒的形態(tài)和化學(xué)分析， 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標(biāo)準(zhǔn)；非金屬夾雜物的分析。

電子半導(dǎo)體：

目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽能電池；銅絲表面及晶體結(jié)構(gòu)的研究；金屬腐蝕研究
；斷面失效分析；Wire bonding線腳檢查；電容表面成像。

鋼鐵和其它金屬：

對金屬樣品和夾雜物的結(jié)構(gòu)、化學(xué)和結(jié)晶學(xué)進(jìn)行成像和分析；相、顆粒、焊縫和失效分析。

原材料：

納米級超高分辨率掃描電鏡?在地質(zhì)樣品的形態(tài)、礦物學(xué)和成分分析；對金屬、斷裂和非金屬夾雜物的結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像和分析；微粉化和造粒過程中原料化學(xué)成分和活性成份的形態(tài)和成分分析。

材料科學(xué)研究：

用于研究導(dǎo)電和不導(dǎo)電材料樣品的特征。

生命科學(xué)：

對植物、動物和微生物的研究。

司法鑒定：

槍擊殘留物（GSR）；油漆和玻璃分析；痕量分析；頭發(fā)和纖維比較；法醫(yī)毒理學(xué)。