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SR-Mapping反射膜厚儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 武漢頤光科技有限公司
  • 品牌 頤光科技
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)金融港四路10號(hào)6號(hào)樓(自貿(mào)區(qū)武漢片區(qū))
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/7/4 13:54:15
  • 訪問次數(shù) 2159

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       武漢頤光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd)是國(guó)內(nèi)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測(cè)量設(shè)備研發(fā)、制造與銷售的企業(yè)。公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測(cè)量經(jīng)驗(yàn)的專家聯(lián)合創(chuàng)辦,與華中科技大學(xué)緊密合作,現(xiàn)有員工80%以上擁有碩士或博士學(xué)位,是橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域非常有優(yōu)勢(shì)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。

       頤光科技注冊(cè)于武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū),立足光谷,面向,為用戶提供光學(xué)散射測(cè)量?jī)x等系列產(chǎn)品,并提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲(chǔ)、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、減反膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。

      頤光科技充分利用武漢地區(qū)的交通便利和人才優(yōu)勢(shì),立志成為中國(guó)的光學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)創(chuàng)新平臺(tái)和產(chǎn)業(yè)化基地,立志成為企業(yè)值得信賴的合作伙伴。

光譜橢偏儀,反射膜厚儀

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,航天,電氣

一、概述

       SR-Mapping 反射膜厚儀系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無損測(cè)量,通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,同時(shí)搭配R-Theta位移臺(tái),兼容6到12寸樣品,可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描,快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息,并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。

 

■ 光學(xué)薄膜測(cè)量解決方案;

■ 非接觸、非破壞測(cè)量;

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析;

■ 膜厚重復(fù)性測(cè)量精度:0.02nm

■ 全自動(dòng)測(cè)量,測(cè)量點(diǎn)數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯 

 

■ 采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?,光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍;

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■ 采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì),體積小,操作簡(jiǎn)便;

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■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,輕松解析單層薄膜到多層;


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■ 配置強(qiáng)大核心分析算法:FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息;

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三、產(chǎn)品應(yīng)用 

廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測(cè)量

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技術(shù)參數(shù)

SR-Mapping.png

 

 

 



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