日本horiba非接觸式化學藥液濃度計CS-900

為達到半導體濕法制程中所需的嚴格化學藥液濃度控制，HORIBA 通過設計緊湊設備，以及通過其原有傳感器設計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員安全，實現更強大功能以滿足需求。

概要：

1.全部無接觸，高度穩(wěn)定

從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路，實現零的污染。這消除了在安裝傳感器時進行管路施工的要求，從而減少化學事故。此外，通過升級光學系統(tǒng)，設備變得更加緊湊，同時保留 CS-600F*1 的原始規(guī)格。

2.高質量、穩(wěn)定測量

零的污染

配備溫度補償功能，實現穩(wěn)定測量

配備 HORIBA 原始算法，補償氣泡影響

重復性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同

3.抑制振動效應

HORIBA 采用抗錯位強的光學系統(tǒng)結構，與 HORIBA 的原始管路結構協同配合。

日本horiba非接觸式化學藥液濃度計CS-900

為達到半導體濕法制程中所需的嚴格化學藥液濃度控制，HORIBA 通過設計緊湊設備，以及通過其原有傳感器設計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員安全，實現更強大功能以滿足需求。

概要：

1.全部無接觸，高度穩(wěn)定

從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路，實現零的污染。這消除了在安裝傳感器時進行管路施工的要求，從而減少化學事故。此外，通過升級光學系統(tǒng)，設備變得更加緊湊，同時保留 CS-600F*1 的原始規(guī)格。

2.高質量、穩(wěn)定測量

零的污染

配備溫度補償功能，實現穩(wěn)定測量

配備 HORIBA 原始算法，補償氣泡影響

重復性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同

3.抑制振動效應

HORIBA 采用抗錯位強的光學系統(tǒng)結構，與 HORIBA 的原始管路結構協同配合。