一、核心參數(shù)：  

價格區(qū)間：200萬-300萬  

儀器種類：電子束蒸發(fā)鍍膜機  

產(chǎn)地類別：國產(chǎn)  

應(yīng)用領(lǐng)域：微電子學(xué)  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片溫度范圍：RT-900oC  

成膜厚度均勻性：均一性<3%  

極限真空：<1E-9Torr  

二、約瑟夫森結(jié)超高壓系統(tǒng)：  

全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統(tǒng)專專業(yè)制備約瑟夫森結(jié)制備，可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層，確保高性能制備及高成品率；此鍍膜儀有進樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發(fā)室以及氧化室，共計四個高真空腔室，腔室間使用傳樣桿進行高真空傳樣，傳遞模組須采用抓取式設(shè)計；設(shè)備所有工藝均支持4英寸及以內(nèi)的晶圓或不規(guī)則樣品。設(shè)備整個工藝過程，可以按照用戶設(shè)置的參數(shù)自動化運行，工藝流程包括并不限于：抽真空，監(jiān)測氣壓，離子清洗，樣品位置調(diào)節(jié)、傳樣，加熱，電子束蒸發(fā)特定厚度設(shè)置，自動調(diào)整氣壓等。  

三、廈門韞茂科技有限公司為您提供全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統(tǒng)QBT-J的參數(shù)、價格、型號、原理等信息，QBT-J產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂，型號為QBT-J，價格為200萬-300萬RMB，更多相關(guān)信息可咨詢，公司客服電話7*24小時為您服務(wù)。  

四、售后服務(wù)：  

保修期：1年  

是否可延長保修期：否  

現(xiàn)場技術(shù)咨詢：有  

免費培訓(xùn)：1.設(shè)備出廠前，提供至少2人一周的設(shè)備原廠培訓(xùn)。2.設(shè)備在現(xiàn)場完成安裝調(diào)試  

免費儀器保養(yǎng)：有需要可安排

保內(nèi)維修承諾：保修期內(nèi)（除天災(zāi)和人為損害外）部件、元件費用、出差費用均由我司承擔(dān)

報修承諾：質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)故障時我司將及時響應(yīng)，并在8小時內(nèi)派技術(shù)人員到現(xiàn)場解決故障

五、技術(shù)參數(shù)：