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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>臺階儀>P260 探針式輪廓儀 HRP®-260

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P260 探針式輪廓儀 HRP®-260

參考價500000-10000000
具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

粗糙度臺階儀表面應力

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


今浩儀器設備有限公司是一家致力于向高科技企業(yè)、科研機構提供*實驗分析儀器、設備的供應商,成立于2014年11月11日。我們不僅僅提供產(chǎn)品,我們還可以幫助客戶在檢測、分析和生產(chǎn)過程當中得到*、可靠的技術服務和解決方案。

從成立的那一天起,我們就把我們的優(yōu)勢和專注點集中于材料測試方面,其中包括材料的結構、元素分布、表面特征、物理化學特性以及光學、電學特性的分析。

今浩秉承服務,精益求精的宗旨,力求做到更好。我們始終以開放的溝通,完備的售前和售后支持,和專業(yè)水平高發(fā)展和維持著與客戶長期穩(wěn)定的良好合作關系

 

納米壓痕,臺階儀,輪廓儀,激光共聚焦,白光干涉

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應用領域 建材/家具,電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天,綜合

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產(chǎn)品描述

探針式輪廓儀 HRP®-260 是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀。HRP的性能經(jīng)過生產(chǎn)驗證,能夠進行自動化晶圓裝卸、可為半導體、化合物半導體、高亮度LED、數(shù)據(jù)存儲和相關行業(yè)提供服務。P-260配置支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的二維及三維測量,其掃描深度可達200mm而無需圖像拼接。 HRP-260配置的功能與P-260相同,并增加了能夠對小特征進行高分辨率和高產(chǎn)量測量的高分辨率平臺。

探針式輪廓儀 HRP®-260 的雙平臺功能可以進行納米和微米表面形貌的測量。 P-260配置提供長掃描(最長200mm)的功能,無需圖像拼接,HRP-260提供高分辨率掃描平臺,掃描長度可達90μm。 P-260結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描的功能,實現(xiàn)了出色的測量穩(wěn)定性。 HRP-260采用高分辨率壓電掃描平臺提高性能。 通過采用點擊式平臺控制、低倍和高倍率光學系統(tǒng)以及高分辨率數(shù)碼相機,其程序設置快速簡便。 HRP-260支持二維和三維測量,具有各種濾鏡、調平和數(shù)據(jù)分析算法,以量化表面形貌。 并且通過自動晶圓裝卸、圖案識別、排序和特征檢測以實現(xiàn)全自動測量。


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主要功能

  • 臺階高:納米至327μm

  • 恒力控制的低觸力:0.03至50mg

  • 樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

  • 視頻:在線低倍和高倍放大光學系統(tǒng)

  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  • 軟件:簡單易用的軟件界面

  • 生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS / GEM實現(xiàn)全自動化

  • 晶圓機械傳送臂:自動加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍寶石)樣品

  • HRP:高分辨率掃描平臺,分辨率類似于AFM


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主要應用

  • 臺階高度:2D和3D臺階高度

  • 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  • 外形:2D和3D翹曲和形狀

  • 應力:2D和3D薄膜應力

  • 缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌


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工業(yè)應用

  • 半導體

  • 復合半導體

  • LED:發(fā)光二極管

  • MEMS:微機電系統(tǒng)

  • 數(shù)據(jù)存儲

  • 汽車

  • 還有更多:請與我們聯(lián)系以滿足您的要求


應用

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臺階高度

HRP-260能夠測量從幾個納米到327μm的2D和3D臺階高度。這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 HRP-260具有恒定的觸力控制,無論臺階高度如何都可以動態(tài)調整并施加相同的觸力。 這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠精確測量諸如光刻膠的軟性材料。


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紋理:粗糙度和波紋度

HRP-260測量2D和3D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。


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外形:翹曲和形狀

HRP-260可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導體或化合物半導體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產(chǎn)生的原因。HRP-260還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。


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應力:2D和3D薄膜應力

HRP-260能夠測量在生產(chǎn)多個包含工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產(chǎn)生的應力。 使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。2D應力通過在直徑達200mm的樣品上通過單次掃描測量,無需圖像拼接。3D應力的測量采用多個2D掃描,并結合θ平臺在掃描之間的旋轉對整個樣品表面進行測量。


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缺陷復查

缺陷復查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。 缺陷檢測設備找出缺陷并將其位置坐標寫入KLARF文件。 “缺陷復查”功能讀取KLARF文件、對準樣本,并允許用戶選擇缺陷進行2D或3D測量。


產(chǎn)品優(yōu)勢
HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至300微米的臺階高度測量功能。 P-260配置支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D及3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 HRP-260配置的功能與P-260相同,并增加了可以生產(chǎn)類似AFM掃描結果的高分辨率平臺。 HRP平臺具有*的圖案識別算法,可增強系統(tǒng)間程序的移植,這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關鍵要求。




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