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D500 探針式輪廓儀 D-500

參考價(jià)350000-10000000
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

輪廓儀臺(tái)階儀粗糙度

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今浩儀器設(shè)備有限公司是一家致力于向高科技企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)提供*實(shí)驗(yàn)分析儀器、設(shè)備的供應(yīng)商,成立于2014年11月11日。我們不僅僅提供產(chǎn)品,我們還可以幫助客戶在檢測(cè)、分析和生產(chǎn)過(guò)程當(dāng)中得到*、可靠的技術(shù)服務(wù)和解決方案。

從成立的那一天起,我們就把我們的優(yōu)勢(shì)和專注點(diǎn)集中于材料測(cè)試方面,其中包括材料的結(jié)構(gòu)、元素分布、表面特征、物理化學(xué)特性以及光學(xué)、電學(xué)特性的分析。

今浩秉承服務(wù),精益求精的宗旨,力求做到更好。我們始終以開(kāi)放的溝通,完備的售前和售后支持,和專業(yè)水平高發(fā)展和維持著與客戶長(zhǎng)期穩(wěn)定的良好合作關(guān)系

 

納米壓痕,臺(tái)階儀,輪廓儀,激光共聚焦,白光干涉

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶,綜合


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產(chǎn)品描述

探針式輪廓儀  D-500 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量,大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量,與材料特性無(wú)關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。 通過(guò)測(cè)量粗糙度和應(yīng)力,可以對(duì)工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。


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主要功能

  • 臺(tái)階高度:幾納米至1200μm

  • 低觸力:0.03至15mg

  • 視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭

  • 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

  • 緊湊尺寸:最小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀

  • 軟件:用戶友好的軟件界面


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主要應(yīng)用

  • 臺(tái)階高度:2D臺(tái)階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形式:2D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力


QQ截圖20220613151232.png

工業(yè)應(yīng)用

  • 大學(xué),研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

  • 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

  • SIMS:二次離子質(zhì)譜

  • LED:發(fā)光二極管

  • 太陽(yáng)能

  • MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)

  • 汽車(chē)

  • 醫(yī)療設(shè)備

  • 還有更多:請(qǐng)與我們聯(lián)系并探討您的要求


應(yīng)用

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臺(tái)階高度

探針式輪廓儀  D-500 能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D臺(tái)階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。


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紋理:粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-500測(cè)量2D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過(guò)濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類(lèi)的參數(shù)。


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形式:翹曲和形狀

Alpha-Step D-500可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類(lèi)翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。


QQ截圖20220613151321.png

應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-500能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤(pán)將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。


產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D臺(tái)階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 D-500包括一個(gè)手動(dòng)140毫米平臺(tái)和*的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制


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