產(chǎn)品概況

光學(xué)輪廓儀 Profilm3D 白光干涉儀以亞納米級(jí)分辨率對(duì)表面形貌做出高分辨率的測(cè)量。這些設(shè)備支持垂直掃描和相移干涉測(cè)量。使用TotalFocus技術(shù)，Profilm3D可以生成令人驚嘆的3D自然色彩圖像，并且每個(gè)像素都在焦點(diǎn)上。在Profilm3D測(cè)量技術(shù)中，測(cè)量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑不相關(guān)，從而可在較大的視場(chǎng)中實(shí)現(xiàn)高分辨率測(cè)量。通過將多個(gè)視場(chǎng)拼接成到一個(gè)測(cè)量之中，可以進(jìn)一步擴(kuò)大測(cè)量面積。光學(xué)輪廓儀 Profilm3D的用戶界面和自動(dòng)化功能簡單而新穎，適用于從研發(fā)到量產(chǎn)等各種不同的工作環(huán)境。我們的Profilm®軟件套件包括的云技術(shù)ProfilmOnline®網(wǎng)絡(luò)服務(wù)、Android和iOS移動(dòng)應(yīng)用程序以及*的Profilm桌面軟件，可提供靈活的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、可視化和分析解決方案。

主要功能

• 垂直掃描和相移干涉測(cè)量，可用于測(cè)量從納米到毫米的表面特征

• 長行程范圍的自動(dòng)X-Y平臺(tái)，非常適合繪制分布圖和掃描拼接

• 行業(yè)的長壓電行程范圍內(nèi)的自動(dòng)對(duì)焦，用于掃描高度相差很多的多個(gè)表面

• 直觀的軟件套件，包括*的Profilm桌面、采用云技術(shù)的ProfilmOnline和移動(dòng)應(yīng)用程序，用于靈活的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、可視化和分析

• TotalFocus成像，即使在高度變化大于物鏡焦深的表面上，也能產(chǎn)生令人驚嘆的真彩圖像，并且每個(gè)像素都在焦點(diǎn)上

主要應(yīng)用

• 臺(tái)階高度：從納米到毫米的3D臺(tái)階高度

• 紋理：3D粗糙度和波紋度

• 形式：3D弓形和形狀

• 真彩色：3D表面形貌的TotalFocus圖像

• 邊緣滾落：3D邊緣輪廓測(cè)量

• 缺陷檢視：3D缺陷表面形貌

工業(yè)用途

• 高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

• 硅和化合物半導(dǎo)體

• 精密光學(xué)和機(jī)械

• 醫(yī)療設(shè)備

• LED：發(fā)光二極管

• 電力設(shè)備

• MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

• 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

• 汽車

• 更多：請(qǐng)與我們聯(lián)系，并提出您的要求

  
  

臺(tái)階高度

Filmetrics Profilm3D系列輪廓儀支持從納米級(jí)到毫米級(jí)的3D臺(tái)階高度的非接觸式測(cè)量。垂直掃描干涉技術(shù)能夠以納米級(jí)的分辨率測(cè)量較大臺(tái)階高度。采用相移干涉法可以快速測(cè)量亞納米級(jí)特征。Z-stitching干涉測(cè)量法可以將多個(gè)高分辨率掃描拼接組合成單個(gè)測(cè)量，以此對(duì)非常大的臺(tái)階進(jìn)行快速測(cè)量。多種技術(shù)讓用戶能夠量化在蝕刻、濺射、沉積、旋涂等半導(dǎo)體工藝中去除或沉積的材料數(shù)量。

質(zhì)地：粗糙度和波紋度

Filmetrics Profilm3D系列光學(xué)輪廓儀提供3D紋理的非接觸式測(cè)量，量化樣品的粗糙度和波紋度。相移模式非常適合極光滑的表面。軟件過濾器將測(cè)量結(jié)果分為粗糙度和波紋度分量，并計(jì)算均方根(RMS)粗糙度等參數(shù)。

形式：弓形與形狀

Filmetrics Profilm3D系列輪廓儀可以測(cè)量表面的3D形狀或彎曲度。該功能可用于測(cè)量透鏡的曲率半徑或髖關(guān)節(jié)或支架等醫(yī)療植入物的形狀。

TotalFocus

Filmetrics Profilm3D系列光學(xué)輪廓儀配有TotalFocus功能，可捕獲真彩色3D圖像，并且每個(gè)像素都在焦點(diǎn)上。此功能可用于劃分具有不同光學(xué)特性的材料之間的界限。