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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測(cè)厚儀>白光干涉測(cè)厚儀>Zeta388 光學(xué)輪廓儀 Zeta-388

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Zeta388 光學(xué)輪廓儀 Zeta-388

參考價(jià)350000-10000000
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

輪廓儀光學(xué)白光干涉

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今浩儀器設(shè)備有限公司是一家致力于向高科技企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)提供*實(shí)驗(yàn)分析儀器、設(shè)備的供應(yīng)商,成立于2014年11月11日。我們不僅僅提供產(chǎn)品,我們還可以幫助客戶在檢測(cè)、分析和生產(chǎn)過程當(dāng)中得到*、可靠的技術(shù)服務(wù)和解決方案。

從成立的那一天起,我們就把我們的優(yōu)勢(shì)和專注點(diǎn)集中于材料測(cè)試方面,其中包括材料的結(jié)構(gòu)、元素分布、表面特征、物理化學(xué)特性以及光學(xué)、電學(xué)特性的分析。

今浩秉承服務(wù),精益求精的宗旨,力求做到更好。我們始終以開放的溝通,完備的售前和售后支持,和專業(yè)水平高發(fā)展和維持著與客戶長(zhǎng)期穩(wěn)定的良好合作關(guān)系

 

納米壓痕,臺(tái)階儀,輪廓儀,激光共聚焦,白光干涉

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 地礦,建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,綜合


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產(chǎn)品描述

光學(xué)輪廓儀 Zeta-388 是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。 Zeta-388繼承了Zeta-300的功能,并增加了晶圓盒至晶圓盒機(jī)械臂,可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用獲得的ZDot™技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng),可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測(cè)量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度。

光學(xué)輪廓儀 Zeta-388 的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學(xué)量測(cè)技術(shù)。ZDot™測(cè)量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠(yuǎn)焦距圖像。其他3D測(cè)量技術(shù)包括白光干涉測(cè)量、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測(cè)量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量。Zeta-388也是一款顯微鏡,可用于樣品檢查或自動(dòng)缺陷檢測(cè)。Zeta-388通過提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量以及缺陷檢測(cè)功能,以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。


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主要功能

  • 采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光學(xué)器件的簡(jiǎn)單易用的光學(xué)輪廓儀,具有廣泛的應(yīng)用

  • 可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測(cè)的高質(zhì)量顯微鏡

  • ZDot:同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像

  • ZXI:白光干涉測(cè)量技術(shù),適用于z向分辨率高的廣域測(cè)量

  • ZIC:干涉對(duì)比度,適用于亞納米級(jí)別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)

  • ZSI:剪切干涉測(cè)量技術(shù)提供z向高分辨率圖像

  • ZFT:使用集成寬帶反射計(jì)測(cè)量膜厚度和反射率

  • AOI:自動(dòng)光學(xué)檢測(cè),并對(duì)樣品上的缺陷進(jìn)行量化

  • 生產(chǎn)能力:通過測(cè)序和圖案識(shí)別實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量

  • 晶圓傳送機(jī)械臂: 自動(dòng)加載直徑為50mm至200mm的不透明(如硅)和透明(如藍(lán)寶石)樣品


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主要應(yīng)用

  • 臺(tái)階高度:納米到毫米級(jí)別的3D臺(tái)階高度

  • 紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

  • 外形:3D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

  • 薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度

  • 缺陷檢測(cè):捕獲大于1μm的缺陷

  • 缺陷復(fù)檢:采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測(cè)量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置


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工業(yè)應(yīng)用

  • LED:發(fā)光二極管和PSS(圖案化藍(lán)寶石基板)

  • 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  • 半導(dǎo)體 WLCSP(晶圓級(jí)芯片級(jí)封裝)

  • 半導(dǎo)體FOWLP(扇出晶圓級(jí)封裝)

  • PCB和柔性PCB

  • MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))

  • 醫(yī)療設(shè)備和微流體設(shè)備

  • 還有更多:請(qǐng)與我們聯(lián)系以滿足您的要求


應(yīng)用

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臺(tái)階高度

Zeta-388可以提供納米級(jí)到毫米級(jí)的3D非接觸式臺(tái)階高度測(cè)量。ZDot和Multi-Mode(多模式)光學(xué)器件提供了一系列測(cè)量臺(tái)階高度的方法。主要的測(cè)量技術(shù)是ZDot,可以快速測(cè)量從幾十納米到幾毫米的臺(tái)階高度。ZXI干涉測(cè)量技術(shù)可以在大范圍面積上對(duì)臺(tái)階高度進(jìn)行納米級(jí)到毫米級(jí)的測(cè)量。ZSI剪切干涉測(cè)量技術(shù)可用于測(cè)量小于80nm的臺(tái)階高度。


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薄膜厚度

Zeta-388可以利用ZDot或ZFT測(cè)量技術(shù)對(duì)透明薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量。ZDot適用于測(cè)量大于10μm的透明薄膜,例如在折射率較高的基板上涂覆的光阻或微流體器件層。ZFT則采用集成寬帶反射儀適用于測(cè)量30nm至100μm的薄膜。 這既適用于單層薄膜也適用于多層薄膜堆疊,用戶可以輸入薄膜屬性或者采用模型針對(duì)色譜進(jìn)行匹配。


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紋理:粗糙度和波紋度

Zeta-388可以對(duì)3D紋理進(jìn)行測(cè)量,并對(duì)樣品的粗糙度和波紋度進(jìn)行量化。ZDot可測(cè)量從幾十納米到非常粗糙表面的粗糙度。ZSI和干涉測(cè)量技術(shù)可以測(cè)量從埃級(jí)到微米級(jí)的光滑表面。軟件過濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。Nomarski干涉對(duì)比度顯微鏡可以通過發(fā)現(xiàn)斜率的微小變化對(duì)非常精細(xì)的表面細(xì)節(jié)進(jìn)行可視化。


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外形:翹曲和形狀

Zeta-388可以測(cè)量表面的2D和3D的形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量,例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導(dǎo)致這種翹曲的原因。Zeta-388還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。


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應(yīng)力:薄膜應(yīng)力

Zeta-388能夠測(cè)量在生產(chǎn)過程中,包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體等器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測(cè)量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。 Zeta-388采用用戶定義的間隔,并沿著樣品直徑采集樣品表面的高度,然后將數(shù)據(jù)匯總并繪制樣品形狀輪廓,并以此測(cè)量2D應(yīng)力。


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自動(dòng)缺陷檢查

Zeta-388的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)功能可以快速檢測(cè)樣品、區(qū)分不同的缺陷類型,并繪制樣品的缺陷密度分布。Zeta-388結(jié)合了3D測(cè)量功能,可以提供2D檢測(cè)系統(tǒng)無法獲得的缺陷信息,從而可以更快找到缺陷根源。

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缺陷復(fù)檢

Zeta-388的缺陷復(fù)查功能采用檢測(cè)設(shè)備的KLARF文件,并將平臺(tái)移動(dòng)到缺陷位置。 用戶可以使用高質(zhì)量的顯微鏡對(duì)缺陷進(jìn)行檢測(cè)或者對(duì)其高度、厚度或紋理等形貌進(jìn)行測(cè)量。 這提供了2D缺陷檢測(cè)系統(tǒng)無法獲得的額外的缺陷細(xì)節(jié)。 Zeta-388還可以對(duì)缺陷做劃線標(biāo)記,從而更容易在如SEM復(fù)檢設(shè)備等視野有限的設(shè)備中找到這些缺陷。


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LED圖案化藍(lán)寶石基板(PSS)

Zeta-388光學(xué)輪廓儀可以對(duì)圖案化藍(lán)寶石基板進(jìn)行量測(cè)和檢測(cè)。該系統(tǒng)結(jié)合了ZDot功能、樣品透射照明和自定義算法,可快速量化PSS凸塊的高度、寬度和間距。Zeta-388還可在圖案化前后用于測(cè)量光刻膠,讓藍(lán)寶石在蝕刻之前能夠進(jìn)行樣品返工。PSS基板的自動(dòng)缺陷檢測(cè)可以快速識(shí)別關(guān)鍵缺陷,例如PSS凸塊缺失、凸塊橋接、撕裂和污染。Zeta-388還配有一個(gè)自動(dòng)晶圓機(jī)械傳送系統(tǒng),以減少人為干預(yù)和手動(dòng)樣品傳送所引起的污染。


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半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體封裝

Zeta-388支持晶圓級(jí)芯片級(jí)封裝(WLCSP)和扇出晶圓級(jí)封裝(FOWLP)的量測(cè)要求。關(guān)鍵的應(yīng)用技術(shù)是該系統(tǒng)能夠在干光刻膠薄膜完好無損的情況下對(duì)鍍銅的高度做出測(cè)量。這是透過透明的光刻膠對(duì)種子層進(jìn)行測(cè)量,通過測(cè)量銅柱的高度、光刻膠的厚度以及銅柱和光刻膠的相對(duì)高度差來實(shí)現(xiàn)的。其他應(yīng)用包括再分布線(RDL),凸塊下金屬化(UBM)高度和紋理、光刻膠開口關(guān)鍵尺寸(CD)、光刻膠厚度和聚酰亞胺厚度的測(cè)量。 還可以測(cè)量金屬觸點(diǎn)的共面性以確定凸塊高度是否滿足最 終的器件封裝連接要求。


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激光燒蝕

Zeta-388可以測(cè)量在激光表面處理后對(duì)半導(dǎo)體、LED、微流體器件、PCB等引起的形貌變化。激光已在半導(dǎo)體、LED和生物醫(yī)學(xué)設(shè)備等行業(yè)中被用于精密尺度微加工和表面處理。對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè),測(cè)量晶圓ID標(biāo)記的高度和寬度至關(guān)重要,這確保其在多個(gè)不同的工藝步驟中可以被成功讀取。


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微流體

Zeta-388能夠測(cè)量由硅、玻璃和高分子等材料制成的微流體裝置。該系統(tǒng)可以對(duì)通道、井和控制結(jié)構(gòu)的高度、寬度、邊緣輪廓和紋理進(jìn)行量化。Zeta-388還可以在透明頂蓋板密封后對(duì)最 終設(shè)備進(jìn)行測(cè)量 – 對(duì)折射率的變化進(jìn)行補(bǔ)償并且對(duì)使用蓋板引起的的應(yīng)力變化進(jìn)行量化。


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生物技術(shù)

Zeta-388非常適用于生物技術(shù)應(yīng)用,可以針對(duì)各種樣品表面的納米級(jí)到毫米級(jí)特征為其提供非接觸式測(cè)量。Zeta-388可以用于測(cè)量生物技術(shù)設(shè)備中的深井深度之類的高縱橫比臺(tái)階。此外,利用其高數(shù)值孔徑物鏡和分辨反射率極低樣品的能力,該系統(tǒng)還可以測(cè)量藥物輸送的微針陣列結(jié)構(gòu)。





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