產(chǎn)品描述

iMicro采用InForce 1000驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行納米壓痕和通用納米機(jī)械測(cè)試，并可選擇添加InForce 50驅(qū)動(dòng)器來(lái)測(cè)試較軟的材料。InView軟件是一個(gè)靈活的現(xiàn)代軟件包，可以輕松進(jìn)行納米級(jí)測(cè)試。iMicro是內(nèi)置高速InQuest控制器和隔振門架的緊湊平臺(tái)。 可以測(cè)試金屬、陶瓷、復(fù)合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等各種不同的材料和器件。

主要功能

• InForce 1000驅(qū)動(dòng)器，用于電容位移測(cè)量，并配有電磁啟動(dòng)的可互換探頭

• 可選的InForce 50驅(qū)動(dòng)器提供50mN的法向力來(lái)測(cè)量軟性材料，并提供可選的Gemini 2D力荷載傳感器用于雙軸動(dòng)態(tài)測(cè)量。軟件集成探頭校準(zhǔn)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的探頭校準(zhǔn)

• InQuest高速控制器電子設(shè)備，具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20μs時(shí)間常數(shù)

• XY移動(dòng)系統(tǒng)以及易于安裝的磁性樣品架

• 高剛度龍門架，集成隔振功能

• 帶數(shù)字變焦的集成顯微鏡，可實(shí)現(xiàn)精確的壓痕定位

• ISO 14577和標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試方法

• InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus報(bào)告、InView大學(xué)在線培訓(xùn)和InView移動(dòng)應(yīng)用程序

主要應(yīng)用

• 硬度和模量測(cè)量(Oliver Pharr)

• 高速材料性質(zhì)分布

• ISO 14577硬度測(cè)試

• 聚合物tan delta，儲(chǔ)存和損耗模量

• 定量刮擦和磨損測(cè)試

• 樣品加熱

工業(yè)應(yīng)用

• 大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

• 半導(dǎo)體行業(yè)

• PVD / CVD硬涂層（DLC，TiN）

• MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）/納米級(jí)通用測(cè)試

• 陶瓷和玻璃

• 金屬和合金

• 制藥

• 涂料和油漆

• 復(fù)合材料

• 電池和儲(chǔ)能

• 汽車和航空航天

硬度和模量測(cè)量（Oliver Pharr）

機(jī)械表征在薄膜的加工和制造中至關(guān)重要，其中包括汽車工業(yè)中的涂層質(zhì)量，以及半導(dǎo)體制造前段和后段的工藝控制。

iMicro納米壓痕儀能夠測(cè)量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。 對(duì)這些特性的高速評(píng)估保證了在生產(chǎn)線上進(jìn)行質(zhì)量控制。

高速材料性質(zhì)分布

對(duì)于包括復(fù)合材料在內(nèi)的許多材料，其機(jī)械性能可能因部位而異。 iMicro的樣品平臺(tái)可以在X軸和Y軸上移動(dòng)100mm，并在Z軸方向移動(dòng)25mm，這使得該系統(tǒng)適用于不同的樣品高度并可以在很大的樣品區(qū)域上進(jìn)行測(cè)量。 可選的NanoBlitz形貌和層析成像軟件可以快速繪制任何測(cè)得的機(jī)械屬性的彩色分布圖。

ISO 14577硬度測(cè)試

iMicro納米壓痕儀包括預(yù)先編寫的ISO 14577測(cè)試方法，可測(cè)量符合ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)的材料硬度。 該測(cè)試方法對(duì)楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標(biāo)準(zhǔn)化壓痕進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量和報(bào)告。

聚合物Tan Delta、儲(chǔ)存和損失模量

iMicro納米壓痕儀能夠針對(duì)包括粘彈性聚合物的超軟材料測(cè)量tan delta和儲(chǔ)存與損耗模量。 儲(chǔ)存與損耗模量以及tan delta是粘彈性聚合物的重要特性，其能量作為彈性能量存儲(chǔ)并作為熱量消耗。 這兩個(gè)指標(biāo)都用于測(cè)量給定材料的能量消耗。

定量劃痕和磨損測(cè)試

iMicro納米壓痕儀 可以對(duì)各種材料進(jìn)行刮擦和磨損測(cè)試。 涂層和薄膜會(huì)經(jīng)過(guò)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）和引線鍵合等多道工藝，考驗(yàn)薄膜的強(qiáng)度及其與基板的粘合性。 重要的是這些材料在這些工藝中抵制塑性變形，并且保持原樣而不會(huì)基板起泡。 理想地，介電材料應(yīng)具有高硬度和彈性模量，因?yàn)檫@些參數(shù)有助于確定材料在制造工藝下會(huì)如何反應(yīng)。

高溫納米壓痕測(cè)試

高溫下的納米壓痕對(duì)于表征熱應(yīng)力下的材料性能至關(guān)重要，特別對(duì)熱機(jī)械工藝中的失效機(jī)理進(jìn)行量化。 在機(jī)械測(cè)試期間改變樣品溫度不僅能夠測(cè)量熱引起的行為變化，還能夠量化在納米級(jí)別上不易測(cè)試的材料過(guò)渡塑性。