產(chǎn)品描述

納米壓痕儀 NanoFlip 提供高精度XYZ位移，可定位樣品進行測試，還提供翻轉(zhuǎn)機制，可定位樣品進行成像。InView軟件附帶一套測試方法，涵蓋一系列測試協(xié)議，并允許用戶創(chuàng)建自己的新穎測試方法。InForce50驅(qū)動器在真空和常壓條件下表現(xiàn)同樣出色。InView軟件可以記錄SEM或其他顯微鏡圖像，并與機械測試數(shù)據(jù)進行同步。創(chuàng)新的FIB-to-Test技術(shù)允許樣品傾斜90°，無需移除樣品即可實現(xiàn)從FIB到壓痕測試的無縫過渡。

主要功能

• InForce 50驅(qū)動器，用于電容位移測量，并配有電磁啟動的可互換探頭

• InQuest高速控制器電子設(shè)備，具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20μs時間常數(shù)

• 用于樣本定位的XYZ移動系統(tǒng)

• SEM視頻捕獲，可以將SEM圖像和測試數(shù)據(jù)進行同步

• 軟件集成壓頭校準系統(tǒng)，可實現(xiàn)快速，準確的壓頭校準

• 與Windows®10兼容的InView控制和數(shù)據(jù)查看軟件以及協(xié)助用戶設(shè)計實驗的方法開發(fā)功能

主要應(yīng)用

• 硬度和模量測量（Oliver-Pharr）

• 連續(xù)剛度測量

• 高速材料性質(zhì)分布圖

• ISO 14577硬度測試

• 聚合物的納米動態(tài)力學(xué)分析（DMA）

• 定量刮擦和磨損測試

工業(yè)應(yīng)用

• 大學(xué)、研究實驗室和研究所

• 支柱和微球制造

• MEMS（微機電系統(tǒng)）

• 材料制造（結(jié)構(gòu)壓縮/拉伸/斷裂測試）

• 電池和元件制造

硬度和模量測量（Oliver-Pharr）

納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。 對這些特性的高速評估保證了在生產(chǎn)線上進行質(zhì)量控制。

連續(xù)剛度測量 （CSM）

連續(xù)剛度測量用于量化動態(tài)材料特性，例如應(yīng)變率和頻率引起的影響。 NanoFlip納米壓痕儀提供0.1Hz至1kHz的動態(tài)激發(fā)，采用隨時間變化進行監(jiān)測以準確確定初始表面接觸，并根據(jù)深度或頻率持續(xù)對接觸剛度進行測量。

材料特性分部

對于包括復(fù)合材料在內(nèi)的許多材料，其機械性能可能因部位而異。NanoFlip的樣品平臺可以在X軸和Y軸上移動21mm，并在Z軸方向移動25mm，這使得該系統(tǒng)適用于不同的樣品高度并可以在樣品區(qū)域上進行測量?？蛇x的NanoBlitz形貌和斷層成像軟件可以快速繪制任何測得的機械屬性的彩色分布圖。

ISO 14577硬度測試

NanoFlip 納米壓痕儀 包括預(yù)先編寫的ISO 14577測試方法，可用于測量符合ISO 14577標準的材料硬度。該測試方法自動測量并報告楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標準化壓痕。

納米動態(tài)力學(xué)分析（DMA）

聚合物是非常復(fù)雜的材料。為了獲取決定聚合物設(shè)計的有用信息，需要對相關(guān)樣品在相關(guān)的條件下進行機械性能測量。納米壓痕測試幫助這種特定相關(guān)的測量易于進行，因為只需要制備很小或很少量的樣品。還可以通過在與材料接觸時振蕩壓頭來測量聚合物的復(fù)數(shù)模量和粘彈性。

定量劃痕和磨損測試

可以對各種材料進行刮擦和磨損測試。涂層和薄膜會經(jīng)過化學(xué)機械拋光（CMP）和引線鍵合等多道工藝，考驗薄膜的強度及其與基板的粘合性。重要的是這些材料在這些工藝中抵制塑性變形，并且保持原樣而不會基板起泡。