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OPTELICS AI 2 晶圓缺陷檢測(cè)儀

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上海旭量光學(xué)技術(shù)有限公司專研于光電產(chǎn)品系統(tǒng)集成。。堅(jiān)持在光電領(lǐng)域前沿的不斷探索,公司不僅為用戶引進(jìn)原廠生產(chǎn)的各類標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,而且致力于根據(jù)用戶的新需求,探索提供完整的系統(tǒng)解決方案,包括研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、集成和二次開發(fā)等,努力為客戶提供專業(yè)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

我們堅(jiān)持致力于高質(zhì)量科研產(chǎn)品的推廣工作,在飛秒激光器及飛秒微納加工,超快時(shí)間分辨光譜及成像等超快領(lǐng)域擁有專業(yè)、全套的解決設(shè)備及方案?,F(xiàn)設(shè)有北京,杭州、深圳三個(gè)分公司和售后服務(wù)中心。 主要科研產(chǎn)品:微納飛秒激光加工系統(tǒng)、激光加工過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng);一體化飛秒激光器及納秒激光器、皮秒激光器、超連續(xù)白光光源;科研級(jí)深度制冷CCD、sCMOS、ICCD、EMCCD、


飛秒激光加工系統(tǒng)

Lasertec已將OPTELICS AI 2商業(yè)化,這是一種新型共聚焦顯微鏡自動(dòng)檢查/檢查系統(tǒng),集成了高速自動(dòng)缺陷檢查功能、缺陷映射功能和高倍率形狀檢查功能。




特征

  • 從自動(dòng)缺陷檢查到各種材料的半導(dǎo)體晶圓的高倍率檢查和形狀測(cè)量,一個(gè)單元即可處理所有事務(wù)?;钴S于從研發(fā)到量產(chǎn)的各個(gè)階段

  • 高速檢測(cè):亞微米級(jí)靈敏度可在 15 分鐘內(nèi)完成 3 英寸晶圓的全面檢測(cè)

  • 高倍率回顧:通過切換物鏡可以進(jìn)行高倍率 3D 形狀測(cè)量

  • 通過深度學(xué)習(xí)實(shí)現(xiàn)高精度的圖像分類??梢赃M(jìn)行圖案板檢查和特定缺陷類型的檢查

  • 即使對(duì)于化合物半導(dǎo)體和薄膜等透明樣品,也可以在不受背反射影響的情況下進(jìn)行檢查、高倍率檢查和形狀測(cè)量。

  • 由于 Lasertec 提供從硬件到軟件的完整系統(tǒng),因此可以根據(jù)客戶的要求定制和支持整個(gè)系統(tǒng)。


用法

  • 各種材質(zhì)半導(dǎo)體晶圓的高速自動(dòng)缺陷檢測(cè)

  • 缺陷審查

  • 缺陷形狀測(cè)量

  • 每個(gè)制造過程中的缺陷跟蹤

規(guī)格

檢查時(shí)間(3"晶圓)15分鐘
檢查對(duì)象各種晶圓(Si、SiC、GaN、InP、AlN、玻璃等)、玻璃基板、薄膜等
高速自動(dòng)缺陷檢測(cè)共焦光學(xué)與微分干涉干涉
高倍復(fù)習(xí)共焦光學(xué)系統(tǒng)
3D形狀測(cè)量





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