（一）產(chǎn)品介紹

FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測(cè)試、電容電壓 (CV) 測(cè)試、脈沖式 IV 測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、高速時(shí)域信號(hào)釆集以及低頻噪聲測(cè)試能力。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測(cè)試系統(tǒng)中完成。其全面而強(qiáng)大的參數(shù)測(cè)試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的的研發(fā)和評(píng)估進(jìn)程。并可與概倫 9812 系列噪聲測(cè)試系統(tǒng)無(wú)縫集成，其快速 DC 測(cè)試能力進(jìn)一步提升了 9812 系列產(chǎn)品的噪聲測(cè)試效率。

FS-Pro 釆用工業(yè)通用的 PXI 模塊化硬件架構(gòu)，系統(tǒng)擴(kuò)展性強(qiáng)，還支持多通道并行測(cè)試，可進(jìn)一步提升測(cè)試效率。系統(tǒng)內(nèi)置專業(yè)測(cè)試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測(cè)試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的測(cè)試功能，可實(shí)現(xiàn)非常友好的用戶即插即用體驗(yàn)。

FS-Pro 可廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED 材料、二維材料器件、金屬材料、新型*材料與器件測(cè)試等。

基于在產(chǎn)線測(cè)試與科研應(yīng)用方面的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro 不僅被眾多芯片設(shè)計(jì)公司和代工廠、IDM 公司釆用，其全面的測(cè)試能力更在科研學(xué)術(shù)界受到了廣泛關(guān)注和認(rèn)可，目前已被數(shù)十所國(guó)內(nèi)外高校及科學(xué)研究機(jī)構(gòu)所選用。

（二）產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

一體化設(shè)備

- 單機(jī)可采集高精度 IV、CV、脈沖 IV 和瞬態(tài) IV 采樣及 1/f 噪聲測(cè)試所有參數(shù)

- 無(wú)需切換電纜或探頭連接即可提供完整的低頻參數(shù)提取功能

寬電壓電流輸出范圍、高精度

- 支持高速采樣時(shí)域信號(hào)采集和任意線性波形生成模塊化架構(gòu)

- 支持靈活、可擴(kuò)展的測(cè)試配置

簡(jiǎn)單易用

- 內(nèi)置專業(yè) LabExpress 軟件 , 用戶界面友好

- 測(cè)量、分析功能強(qiáng)大

- 無(wú)需復(fù)雜編程步驟即可同步產(chǎn)生電壓并跟蹤波形

可用作 9812DX 內(nèi)部 SMU 模塊

- 無(wú)縫集成 9812D/DX 系統(tǒng)及其 NoiseProPlus 軟件，可提高噪聲測(cè)試速度

（三）產(chǎn)品應(yīng)用：

新型材料與器件測(cè)試

半導(dǎo)體器件可靠性測(cè)試

半導(dǎo)體器件超短脈沖測(cè)試

半導(dǎo)體器件無(wú)損探傷與測(cè)試

光電器件和微電子機(jī)械系統(tǒng)測(cè)試

半導(dǎo)體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測(cè)試

（四）硬件規(guī)格

寬量程：200V 電壓，1A 直流電流

高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度

噪聲測(cè)試帶寬：高精度最高 100kHz，超低頻最高 40Hz

噪聲測(cè)試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）

內(nèi)置脈沖測(cè)試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50us 脈寬

內(nèi)置 CV 測(cè)試：200V/10kHz，可測(cè)至 20fF

外置 CV 測(cè)試模塊：40V/2MHz（高精度型）

40V/10MHz（高帶寬型）

高速時(shí)域信號(hào)采集：最小采樣時(shí)間 < 1us，10 萬(wàn)點(diǎn)數(shù)據(jù)

噪聲測(cè)試最小阻抗：500Ω

噪聲測(cè)試分辨能力：可做 2e-28A2/Hz

噪聲測(cè)試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz

高精度快速波形發(fā)生與測(cè)量套件：

2 通道，SMA 接口

快速 IV 測(cè)試：±10V 電壓，最大 10mA 電流

SMU 直通：±25V 電壓輸入，最大 100mA 電流

100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達(dá) 130ns

（五）軟件功能

FS-Pro 系列內(nèi)置 LabExpress 測(cè)量軟件具有強(qiáng)大的測(cè)試和分 析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設(shè) 定，具有下列主要功能：

完整支持直流、脈沖、瞬態(tài)、電容、噪聲測(cè)試、任意波形發(fā)生與測(cè)量功能

支持長(zhǎng)程 Stress 測(cè)試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp，J-Ramp）可靠性測(cè)試

內(nèi)置的常見器件測(cè)試預(yù)設(shè)可大大提高測(cè)試設(shè)置效率，幫助 新手操作者快速完成測(cè)試

強(qiáng)大的自定義設(shè)定功能可以靈活編輯電信號(hào)

內(nèi)置強(qiáng)大數(shù)據(jù)處理能力可測(cè)試后直接展幵器件特性分析多種數(shù)據(jù)保存方式，導(dǎo)出數(shù)據(jù)可供用戶后續(xù)分析研究也可直接導(dǎo)入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進(jìn)行模型提取 和特性分析

LabExpress 專業(yè)版支持對(duì)主流探針臺(tái)和矩陣幵關(guān)設(shè) 備的控制，支持晶圓映射、并行測(cè)試實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)試功能，進(jìn)—步提升測(cè)試效率

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