顯微分光膜厚儀(OPTM系列)
- 公司名稱(chēng) 上海倍藍(lán)光電科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/9/30 11:53:15
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 720
聯(lián)系方式:于經(jīng)理13331917708 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
測(cè)量目標(biāo)膜的**反射率,高精度測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)!非接觸·非破壞·顯微
測(cè)量時(shí)間僅1秒!
顯微分光膜厚儀(OPTM系列)使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)**反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶(hù),也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件
產(chǎn)品特點(diǎn):
頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能
通過(guò)顯微光譜法測(cè)量高精度**反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))
1點(diǎn)1秒高速測(cè)量
顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外***近紅外)
區(qū)域傳感器的安全機(jī)制
易于分析向?qū)?,初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求
支持各種自定義
測(cè)量項(xiàng)目:
**反射率測(cè)量
多層膜解析
光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))
應(yīng)用:
半導(dǎo)體:晶圓樣品的自動(dòng)調(diào)整,晶圓的彎曲檢測(cè)
光學(xué)元器件:鏡頭鏡片的放射率,彎曲等檢測(cè)
產(chǎn)品規(guī)格型號(hào):
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
波長(zhǎng)范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
測(cè)定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn) | ||
光斑大小 | 10μm (***小約5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規(guī)格 | 氘燈+鹵素?zé)? | 鹵素?zé)?/span> | |
電源規(guī)格 | AC100V±10V 750VA(自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格) | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分) | ||
重量 | 約 55kg(自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分) |