Nexsa G2 表面分析系統(tǒng)自動表面分析和多功能的 X 射線光電子能譜儀

Thermo Scientific Nexsa G2 X 射線光電子能譜儀(XPS)系統(tǒng)可進行全自動、高通量的表面分析，提供用于推進研發(fā)或解決生產(chǎn)問題的數(shù)據(jù)。 集成 XPS 與離子散射譜(ISS)、紫外光電子能譜 (UPS)、反射電子能量損失譜(REELS)和拉曼光譜，讓您進行真正的聯(lián)用分析。該系統(tǒng)現(xiàn)包含樣品加熱和樣品加偏壓功能選項，拓寬可進行的實驗范圍。Nexsa G2 表面分析系統(tǒng)發(fā)掘了材料科學、微電子、納米技術開發(fā)和許多其他應用領域的潛力。

主要特點

高性能   X 射線源

全新的低功率 X 射線單色器，允許以 5µm為間隔、選擇10µm 到 400µm 之間的分析面積，確保從感興趣的特征區(qū)域收集數(shù)據(jù)，同時使信號。

樣品視圖

使用Nexsa XPS 的光學觀察系統(tǒng)和 SnapMap 功能聚焦樣品特征區(qū)域，有助于快速定位感興趣的區(qū)域。

深度剖析

利用標準離子源或 MAGCIS（可選的雙模式單原子和氣體團簇離子源）獲取表面之下的信息；離子源的自動校準和氣體團簇的處理確保了的性能和實驗的可重復性。

數(shù)碼控制

儀器控制、數(shù)據(jù)處理和報告均由基于 Windows 的 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制。

優(yōu)異的電子光學系統(tǒng)

高效的電子透鏡、半球形分析器和檢測器使其具有的檢測能力和快速的數(shù)據(jù)采集能力。

絕緣樣品分析

雙束中和源：既能出射低能離子，又能出射低能電子(小于1 eV)。在測試中能夠對樣品，特別是絕緣樣品，進行很好的中和，令數(shù)據(jù)分析簡單而可靠。

NX 樣品加熱器模塊

全軟件控制的樣品加熱功能選項，支持溫度相關研究。