SPSM緊湊型室溫手動探針臺是一款經(jīng)濟實惠、入門級的探針臺，能夠對2寸、4寸寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數(shù)測量、DC測量。緊湊的桌面設計是學術和實驗研究的較佳選擇。（我們可定制PSM-PM-2、4寸探針臺）

特點

采用金相高精度顯微鏡，能最小識別0.1μm的Pad點

樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品

樣品座下方位移座可實現(xiàn)樣品座三維精細位移調節(jié)使得樣品測試和換樣更加便捷。

最多可安裝6個探針臂

探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動，并且可以三維微調，操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。

探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，

在100fA以內

CCD放大倍數(shù)為50-1000倍，工作距離為100mm

滑臺和樣品座均采用真空吸附固定。

參數(shù)和指標

樣品座

卡盤尺寸2/4/6/8/12英寸，可定制

材質 鋁合金鍍金

樣品固定方式 多孔吸附

位移行程：X-±12.5mm，Y-±12.5mm，Z-±6.5mm

移動可分辨精度：10μm

探針臂

固定方式：磁鐵吸附

XYZ微調移動行程：XYZ-13mm

微調可分辨精度：1μm

探針臂數(shù)量 可安裝6個探針臂（左右各3個）

電學線纜 三同軸線纜

漏電流 100fA

探針類型 直流探針

光學系統(tǒng)

顯微鏡放大倍數(shù) 50-1000倍

顯微鏡工作距離 90-100mm

CCD相機分辨率 彩色2000萬像素

可加選件

光學平臺

直流探針

樣品座

屏蔽箱

可選聯(lián)用設備

M81同步源和測量模塊

M91快速霍爾測量儀

155精密I/V源

激光儀器