Avantgarde 室溫永磁鐵探針臺為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。另外，可用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要的霍爾參數(shù)。在室溫下對芯片、晶圓和器件進行非破壞測試。

PSPM系列室溫永磁體探針臺是一款專門針對室溫垂直磁場電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，提供0.5T垂直磁場，能夠?qū)?寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進行重復(fù)性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實驗，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。

特點

• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，通過移動樣品座下面的滑臺，可以實現(xiàn)X-Y軸±100mm的移動行程，并且樣品座本身可以進行三維上的精細(xì)調(diào)節(jié)，使得樣品測試    和換樣更加便捷。

• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調(diào)節(jié)，配合樣品座位移調(diào)節(jié)，可滿足探針快速扎到8英寸樣品的任意位置

• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內(nèi)，探針臂內(nèi)置線纜，避免雜亂的走線

• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電

• 永磁鐵采用電動控制，可以實現(xiàn)前進后退翻轉(zhuǎn)運動

• 永磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導(dǎo)到樣品上

• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附，有外圈、內(nèi)圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品