電鏡配件耗材，真空鍍膜設(shè)備，高低溫試驗箱，恒溫恒濕箱，震動臺，離子清洗，離子鍍膜，離子切割，真空環(huán)境模擬，自然環(huán)境模擬，在線監(jiān)測等
| 靶材材質(zhì) | 碳繩或是碳棒 | 靶材尺寸 | φ2.5X100mm |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
| 濺射氣體 | 空氣 | 控制方式 | 自動 |
| 樣品倉尺寸 | φ170X120mm | 樣品臺尺寸 | 100mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
TZZN-1000C熱蒸發(fā)鍍碳儀
使用說明書
天澤智能科技
（設(shè)備外觀僅供參考，以實物為準）
特點：
1.熱蒸發(fā)儀是將碳繩連接在真空中的兩個電極上，為了避免碳在空氣中加熱燃燒；
2.特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品蒸鍍/濺射室的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；
3.密封高壓頭更經(jīng)久耐用。低真空 4*10-2mbar時用真空保護（標準機型為結(jié)構(gòu)密封）。
4.碳繩這時候相當于白熾燈的燈絲。“燈絲”的溫度隨著交流電壓的加大而升高。當達到 3000℃ 以上，開始白熾發(fā)光的時候，大量的碳原子從"燈絲"表面向任意方向發(fā)射。把樣品放在燈絲附近，在樣品表面可以形成致密的碳膜。
5.為了使得樣品不至于被高溫灼燒，蒸碳在瞬間完成（通過調(diào)節(jié)旋鈕延長保護時間）。
使用說明書并非質(zhì)量保證書，信息有謬誤支出歡迎更正指導(dǎo)；產(chǎn)品的改進，均由本公司隨時做出解釋，修正內(nèi)容將編入再版使用說明書中。
一、.使用注意事項
■請確保電源插座接觸良好并且保證有可靠接地！
雖然熱蒸發(fā)鍍碳儀的平均電流不大，但瞬時工作電流可能相對較高。
■請確保蒸發(fā)鍍碳儀的工作電壓穩(wěn)定、正常！
我公司標準產(chǎn)品的工作電壓范圍為 ：210V~250V
■電源頻率不匹配會導(dǎo)致儀器損壞！
儀器的使用頻率為 50HZ。
■禁止私自對儀器進行拆卸改裝！
本產(chǎn)品為精密儀器，拆卸不當可能發(fā)生真空系統(tǒng)漏氣、設(shè)備短路等情況，造成儀器損壞和人員傷亡。
■蒸碳儀在不工作時不要讓真空室一直處于真空狀態(tài)！
真空室一直處于真空狀態(tài)，真空泵進氣口處于負壓，使得泵油倒灌樣品室。
注意：本產(chǎn)品為精密設(shè)備，請勿讓非專業(yè)人士操
作，使用過程中操作人員不得離開現(xiàn)場
二、外形及部件名稱（隨機變化略有不同）
前面板
1.真空表，2.電流表，3.啟動按鈕， 4.真空指示燈，5.轉(zhuǎn)換開關(guān)（當前為右側(cè)），6.延時旋鈕，7.電源
樣品室：（可換裝碳棒電極）
1.保護帽，2.上蓋，3. “凹”型密封圈，4.石英鐘罩，5.碳繩電極，6.擋板，7.底座
后面板
1.A/B/C電極，2.真空泵電源，3.接地端子，4.過流保險，5.220V電源,6.短路指示燈，7.擋板
泵和真空管道
1過濾器，2.電磁閥接頭，3.真空泵排氣口卡箍，4.真空泵加油口，5.真空泵放油口，6.真空泵進氣口卡箍，7.自動開關(guān)，8.真空管
三、安裝使用說明
儀器的安裝
1、打開包裝，檢查儀器是否完好，附件是否齊全
2、清理樣品室，檢查樣品室中是否有異物、粉塵，并清理干凈。
3、把油污過濾器安裝在泵的出氣口，并用 卡箍卡緊。
4、連接真空管道，將 KF16端接儀器，另一端接泵的進氣口，并用卡箍卡緊。
5、將電磁閥的電源線和泵的引出端對插到一起。
6、把泵電源插在主機后面板的泵電源插座上。
7、將蒸發(fā)上蓋的蒸發(fā)公共端 A、蒸發(fā) B、蒸發(fā) C按顏色對應(yīng)接在主機后面板的接頭上。
8、將玻璃鐘罩放在主機的底盤上，將熱蒸發(fā)上蓋放在主機的玻璃鐘罩上。
9、將總電源線插上。
10. 碳繩的更換
1.AB段碳繩，2.AC段碳繩，通過轉(zhuǎn)換開關(guān)選擇
用六角扳手將上蓋的三個內(nèi)六角螺釘擰松，將碳繩按照BAC或CAB的順序依次纏繞在卡槽中，分別擰緊螺釘，將碳繩剪斷即可。
前面板的“5.轉(zhuǎn)換開關(guān)”，左側(cè)對應(yīng)使用的碳繩為AC段，右側(cè)對應(yīng)使用的碳繩為AB段。
四、技術(shù)規(guī)格說明
樣品倉尺寸：φ150mmX110mm
蒸發(fā)面積：約Φ140mm
真空度：≤4×10-2mbar
工作電壓：220V,50HZ
蒸發(fā)輸出：電壓30V
蒸發(fā)靶材：碳棒、碳繩
蒸發(fā)電流：約100A
五、儀器的使用經(jīng)驗
理想膜層的特點
1.良好的導(dǎo)熱和導(dǎo)電性能。
2.不管樣品的表面形貌如何，覆蓋在所有部位的膜層需要薄厚均勻。
3.膜層對樣品的化學(xué)成分干擾很小，對從樣品中發(fā)射的X射線強度影響很弱。
4.這層膜主要增加樣品表面的導(dǎo)電性能和導(dǎo)熱性能，相較于導(dǎo)電金屬膜層的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的鍍層，在3-4nm分辨率尺度內(nèi)不顯示其幾何形貌特點，避免引入不必要的人為圖像，鍍層精細均勻，適合非常粗糙的樣品，高分辨研究。
5.可以噴碳（碳棒或碳繩），有利于對樣品中非碳元素的能譜分析。
6.非導(dǎo)電樣品觀察背散射電子圖像，進行EBSD分析，也應(yīng)該噴碳處理。
注意：熱蒸發(fā)功能容易對樣品產(chǎn)生污染，蒸發(fā)溫度過高（例如碳的蒸發(fā)溫度為3500K)，會損傷熱敏感材料。
7.真空蒸發(fā)鍍層厚度可以通過下面公式進行估算:
T=3/4(M/4πR2ρ)cosθ×10-7（式中2和-7為指數(shù)）
其中:
T(nm)為蒸鍍層的厚度；
M(g)為蒸發(fā)材料的總質(zhì)量；
ρ(g/cm3)為蒸發(fā)材料的密度；
R(cm)為蒸發(fā)源到試樣的距離；
θ(度)為樣品表面法線與蒸發(fā)方面的夾角。
使用說明
1、將蒸發(fā)上蓋放在主機的玻璃鐘罩上。
2、打開泵開關(guān)（泵的使用說明詳見真空泵使用說明書）。
3、放入樣品后，打開電源開關(guān)，打開總開關(guān)，電源指示燈亮
4、真空表持續(xù)升高，大約20Pa時限流保護燈亮，上升至4×10-2mbar時趨于穩(wěn)定時可以開始啟動蒸碳（真空越高蒸碳的效果越好，所需的等待時間會相對延長，此設(shè)備真空不可調(diào)節(jié)）。
5、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)計時器設(shè)定時間：時間范圍：0—1秒；旋轉(zhuǎn)鈕設(shè)有8.
5個擋位對應(yīng)相應(yīng)的蒸發(fā)時間。
（注意：單次蒸發(fā)時間越長對碳繩和碳棒的消耗越大；擋位的選擇：1-4擋蒸發(fā)碳膜不太明顯，5-7擋及以上擋位，對應(yīng)的單次蒸發(fā)量沉積在樣品上的碳膜會有明顯的變化。）
6、設(shè)定好擋位，按住蒸發(fā)“啟動/START”按鈕直至?xí)r間結(jié)束。
（注意：選擇高擋位長時間蒸碳時，如果多次對同一樣品蒸碳，因為膨脹系數(shù)的不同，會有裂紋或是起皮現(xiàn)象，針對不同樣品需要摸索不同的蒸碳條件。）
7、蒸碳完畢，關(guān)閉電源，待真空泵上電磁放氣閥放氣結(jié)束后，打開上蓋取出樣品，然后閉合上蓋
8、如果不再進行鍍膜，關(guān)斷蒸發(fā)儀電源。
常見故障排除
故障現(xiàn)象判斷與解決方法
1.真空抽不上去：檢查玻璃鐘罩是否放端正，上蓋是否放端正或者沒有蓋好，電磁閥與泵的對插是否連接好。
2.使用一段時間檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油，可用汽油、丙酮溶液清洗
3.真空表的指示如有輕微的偏差，不會影響使用。
4.碳繩是否夾緊、熔斷。蒸發(fā)AB、AC,公共端是否接好
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