有機材料熱蒸鍍設(shè)備

有機金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式，用於將有機或金屬材料沉積到基板表面上。該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性。

為了達到此要求，有機材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準熱蒸發(fā)源作為加熱源，並使用金屬、石英、陶瓷或PBN坩堝來容納有機材料以及PID控制器來控制其沉積速率。該系統(tǒng)通常用於有機電子研究領(lǐng)域，例如OPV、OLED、OPD... 

有機材料熱蒸鍍設(shè)備

封裝系統(tǒng)

SYSKEY針對研究等級的實驗室，推出玻璃對玻璃封裝的對位壓合機構(gòu)。我們整合塗膠系統(tǒng)(UV或liquid gate)和紫外光燈可安裝於手套箱或是獨立的一個壓合腔體內(nèi)，且可手動進行放片，也可以透過自動傳片系統(tǒng)使用。可撓式OLED必須輕薄且具有可撓曲性，因此過往的玻璃材料並不適合用於此類的封裝，必須採用薄膜封裝技術(shù)(Thin-Film Encapsulation，TFE)或混和封裝技術(shù)。SYSKEY針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學氣相沉積、原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設(shè)備，且使用低溫的沉積技術(shù)，分別在OLED 上堆疊多層薄膜(SiN_X、SiO_XN_X、Al₂O₃、ZnO、Parylene)並得到更好的保護層，以減少水氧對於有機元件的影響，從而提高OLED面板的壽命和性能。