感應(yīng)耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/7/10 13:40:41
- 訪問次數(shù) 635
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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ICP-CVD 感應(yīng)耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備(ICP-CVD)是一種使用ICP的化學氣相沉積技術(shù),可為沉積反應(yīng)提供一些能量。與PECVD方法相比,ICP-CVD可以在較低的溫度下沉積各種薄膜而不會降低薄膜質(zhì)量。因使用ICP做為電漿源,有電漿濃度較高、能量損耗較低、功率較大與反應(yīng)速率較高等優(yōu)點。
SYSKEY感應(yīng)耦合電漿化學氣相沉積設(shè)備的ICP-CVD可以精準的控制製程氣體與監(jiān)控其數(shù)據(jù)(壓力、載臺溫度),並提供高品質(zhì)的薄膜。
應(yīng)用領(lǐng)域 | 腔體 |
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配置和優(yōu)點 | 選件 |
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