SEMI-KLEEN 美國PIE等離子清洗儀
| 參考價 | ￥100000-￥300000/件 |
- 公司名稱 南京覃思科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號SEMI-KLEEN
- 所在地國外
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時間2024/9/14 14:32:23
- 訪問次數(shù) 100
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臺式電子顯微鏡;電鏡；噴金儀；噴碳儀；離子濺射鍍膜儀；真空鍍膜儀；等離子刻蝕灰化儀；透射電鏡CCD相機；電子束曝光系統(tǒng)；接觸角測量儀；光學顯微鏡；生物顯微鏡；工業(yè)顯微鏡；金相顯微鏡；三坐標測量儀；色度亮度計；冷光儀；生物化學發(fā)光儀；能譜儀；電鏡耗材；銅網(wǎng)；微柵；碳導電膠帶；金靶；CCD攝像頭；顯微圖像分析軟件；顯微鏡數(shù)字化改裝
美國PIE等離子清洗儀
美國PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等離子清洗儀, 采用低壓清洗技術(shù)，可清洗各種類型電子或者離子顯微鏡，深紫外光刻機，電子光刻系統(tǒng)等真空儀器。
本儀器由一個LCD觸摸屏控制器和一個遠程射頻（RF）等離子源組成，遠程等離子源通過一個KF40真空法蘭連接到待清洗真空室，有轉(zhuǎn)接法蘭提供。主要用于清洗各種掃描電鏡(SEM)，透射電鏡(TEM)，聚焦離子系統(tǒng)(FIB)，離子顯微鏡(HIM)等真空系統(tǒng)中碳氫及其他污染。同時清洗真空腔體和樣品。(PIE中國代理南京覃思科技有限公司)
一. 美國PIE等離子清洗儀te有功能
1. *的等離子技術(shù)，可以在小于0.1毫托的氣壓下點火并且保持穩(wěn)定的等離子體。非常低工作氣壓比其他同類產(chǎn)品低10到100倍。低氣壓清洗速度非常快，非常均勻，對電子槍和分子泵非常安全；
2. 即時等離子起輝技術(shù)。不用像在其他同類產(chǎn)品上那樣擔心等離子是不是成功起輝；
3. 帶氣壓計的自動氣體流量控制；
4. 實時測量等離子強度，用戶可以根據(jù)這個實時反饋來優(yōu)化清洗配方；
5. 自動射頻匹配實時保證非常優(yōu)化射頻耦合，即使用戶調(diào)節(jié)清洗配方；
6. 專有保護的雙層顆粒過濾器設(shè)計保證我們的產(chǎn)品滿足Intel，臺積電，三星等半導體用戶的嚴格顆粒污染要求；
7. 帶LCD觸摸屏的直觀操作界面；
8. 微電腦控制器帶可修改的智能清洗計劃，設(shè)好就自動清洗您的系統(tǒng)；
9. 支持清洗配方，一鍵開始，自動射頻匹配，自動控制氣體流量；
10. 微電腦控制器可記錄所有信息狀態(tài)，便于系統(tǒng)維護。
二. 技術(shù)指標
1. 等離子源真空接口：NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭；
2. 標配等離子強度傳感器；
3. 等離子源非常低點火起輝氣壓：<0.1毫托；
4. 等離子源非常高工作氣壓：>1.0 托；
5. 漏氣率：<0.005sccm；
6. 射頻輸出：0~100瓦，連續(xù)可調(diào)節(jié)；
7. 具有射頻自動匹配功能
8. 電源和功率：110V/220V, 50/60 Hz, 200 瓦
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