HSSM-GR（8/12)激光掃描共聚焦顯微鏡四振鏡掃描模塊包含一個(gè)共振掃描反射鏡和三個(gè)振鏡掃描反射鏡，分別可以使入射激光束在X軸和Y軸方向偏移。共振掃描反射鏡以共振頻率驅(qū)動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)比振鏡系統(tǒng)更高的掃描速度。具有常規(guī)掃描模式和高速掃描模式兩種模式。

在常規(guī)掃描模式時(shí)，激光掃描共聚焦顯微鏡四振鏡掃描模塊采用三振鏡的設(shè)計(jì)，與傳統(tǒng)的雙振鏡掃描頭相比，具有更小的掃描畸變和更好的均勻性，可以滿足高精度的掃描需求。

在高速掃描模式時(shí)，激光掃描共聚焦顯微鏡四振鏡掃描模塊的共振振鏡和振鏡通過電動(dòng)切換，由兩個(gè)y掃描振鏡和一個(gè)用于x方向的共振振鏡組成。這樣的組合能夠在非常高的線頻率下掃描，適用于對(duì)實(shí)時(shí)成像要求較高的應(yīng)用。

主要特點(diǎn)：

l  常規(guī)模式和高速模式可切換

l  掃描速度：32fps@512X512

l  分辨率：8192X8192

l  掃描范圍：振鏡±10°，共振振鏡±10°@8KHz，±5°@12kHz

l  共振掃描頻率：8kHz&12kHz可選