化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>關(guān)鍵尺寸測(cè)量設(shè)備>Orzew FC20/FC20X 全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)及分選機(jī)
Orzew FC20/FC20X 全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)及分選機(jī)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Orzew FC20/FC20X
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 15:50:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 4350
聯(lián)系方式:岱美儀器13917837832 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)及分選機(jī)功能:
多種測(cè)量能力
形貌測(cè)量
晶圓分選
電阻率測(cè)量
關(guān)鍵尺寸檢測(cè)
自由選擇適配的測(cè)量方式
Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標(biāo)準(zhǔn)真空吸附晶圓載臺(tái)
Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對(duì)射傳感器,搭配符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三點(diǎn)支撐水平載臺(tái)
兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運(yùn)動(dòng)模組和晶圓機(jī)械手,滿足亞微米級(jí)的形貌測(cè)量需求
可選裝配電阻率測(cè)試模塊,滿足更多樣化的量測(cè)需求,適應(yīng)更多的晶圓制程
厚度分布熱力圖和三維面型
•具備4,6,8寸晶圓檢測(cè)能力(12寸可選)
•全自動(dòng)輸出測(cè)量結(jié)果
•自定義電阻率檢測(cè)輸出方式