JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺

產(chǎn)品概要

JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設(shè)備?？梢詫崿F(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機(jī)制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料，半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運(yùn)用。

極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程 泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越 高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

技術(shù)特點

-防輻射屏和熱沉設(shè)計；

•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率；

•液氮自動控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度。

詳細(xì)參數(shù)

搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

我們經(jīng)過近10年的發(fā)展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分 豐富的經(jīng)驗。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀有過多次搭配經(jīng)驗，系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導(dǎo)體參數(shù)分析 儀與探針臺集成測試方案和服務(wù)。

 搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷商所保持良好的合作關(guān)系，我司可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型號的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀，涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能，并 為用戶提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺集成測試方案和服務(wù),具備豐富的測 試經(jīng)驗。

搭配產(chǎn)品/其他類型源表

在其它類型源表方面，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普賽斯S300,鐵電分析儀，各類示波器，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭配經(jīng)驗。