賽德凱斯SC-UV-I型紫外臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干法清洗技術，對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產(chǎn)生波長185nm和254nm的紫外線，185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時激發(fā)清洗表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短，且同時也被254nm的光分解，因此可調節(jié)樣品臺到燈管的距離來優(yōu)化性能。本機可用于去除石英、矽片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等大多數(shù)無機基材上的有機污染物，提供了一種高效、精密的清洗方式，也是表面改性的一種非常重要的技術。可常用于掃描探測顯微鏡的樣品，用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經(jīng)過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側向解析度。