產(chǎn)品概述
當(dāng)一束光入射到薄膜表面時，薄膜上表面和下表面的反射光會發(fā)生干涉，干涉的發(fā)生與薄膜厚度及光學(xué)常數(shù)等有關(guān)，反射光譜薄膜測厚儀就是基于此原理來測量薄膜厚度。
反射光譜干涉法是一種非接觸式、無損的、快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù)。
測量范圍: 1 nm - 1 mm
波長范圍: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2mum -3 um
產(chǎn)品特點(diǎn)：
a. 高的測量精度：0.01nm或0.01
b. 準(zhǔn)確度：1nm或0.2
c. 穩(wěn)定性：0.02nm或0.02
d. 強(qiáng)大的軟件材料庫，包含500多種材料的光學(xué)常數(shù)
e. 通過Modbus TCP或OPC協(xié)議，與其他設(shè)備聯(lián)用
適用于實(shí)時在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭)，聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
標(biāo)準(zhǔn)配置中包含：
1. 主機(jī)(光譜儀，光源，電線)
2. 反射光纖
3. 樣品臺及光纖適配器
4. TFCompanion軟件
5. 校準(zhǔn)套裝
6. 測試樣品，200nm晶圓
多種型號可選，每個型號對應(yīng)不同的測量范圍：
測量n和k值，其厚度范圍需在25納米和5微米之間
廣泛的應(yīng)用于各種工業(yè)生產(chǎn)及工藝監(jiān)控中：
半導(dǎo)體晶圓，薄膜太陽能電池，液晶平板，觸摸屛，光學(xué)鍍膜，聚合物薄膜等
半導(dǎo)體制造：· 光刻膠 · 氧化物 · 氮化物
光學(xué)鍍膜：· 硬涂層 · 抗反射涂層 · 濾波片
生物醫(yī)學(xué)：· 聚對二甲苯 · 生物膜厚度 · 硝化纖維
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