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Cchip-0019 高深寬比紫外光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準
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實驗室儀器光刻機曝光機

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蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司

Suzhou Cchip Scientific Instrument CO.,Ltd.

 

蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司致力于微流控芯片加工工藝及設備的研究,為促進我國微流控技術的發(fā)展貢獻力量。公司擁有多位微流控技術從業(yè)者,有近20多年的技術積累和專業(yè)經(jīng)驗,創(chuàng)新性的開發(fā)了四套微流控芯片加工工藝線,既PDMS微流控芯片加工工藝、玻璃微流控芯片加工工藝、PMMA微流控芯片加工工藝、低成本小線寬塑料芯片批量壓印工藝?;谖⒘骺匦酒庸し眨九c國內眾多高校、研究所、醫(yī)院及醫(yī)療檢測公司,建立了長期穩(wěn)定的合作關系。

 

中芯啟恒提供專業(yè)標準的微流控整體解決方案。

我們專注于以下四項工作:


1)微流控芯片實驗室整體組建

公司深耕微流控芯片代工多年,自主開發(fā)光刻機、熱壓機、對準儀、膜厚測量儀、水平臺等實驗室組建設備。也為加工工藝的優(yōu)化,選型更適合的SU8光刻膠、PDMS等試劑耗材。

3ODM/OEM客戶委托設備研發(fā)制造

微液滴制備系統(tǒng)、數(shù)字液滴DMF芯片平臺、自動微滴生成儀、微混合脂質體LNP制備系統(tǒng)、精密壓力控制器、流量傳感器、壓力傳感器、等多套設備的選型、研發(fā)和調試。

 

2)微流控芯片設計和加工

提供PDMS、玻璃、PMMA、COC塑料等材質的芯片加工,提供標準的液滴芯片、LNP合成芯片、空間轉錄芯片、器官芯片、3D共軸毛細管液滴芯片、各種材質模具加工及芯片夾具定制等相關技術服務。

4)實驗方案外包服務

為客戶提供barcode水凝膠微球制備、單細胞包裹、LNP脂質體制備、mRNA 疫苗包封、器官芯片和類器官培養(yǎng)等實驗外包服務,并為實驗流程優(yōu)化、工業(yè)級放大生產(chǎn)提供技術咨詢服務。


注射泵、光刻膠、芯片、顯影液等

產(chǎn)品名稱:高深寬比紫外光刻機(曝光機)

產(chǎn)品型號:Cchip-0019

資料下載:下載用戶手冊

高深寬比紫外光刻機簡介:

微流控芯片的設計結構一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點,中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機。該設備采用目前LED光源,紫外波長365nm,光源純度高,輻射能量均一可調。設備配有智能化觸摸屏操作面板,外觀比較傳統(tǒng)光刻機體積更小,集成化度高,不僅簡化操作流程,還進一步提高工藝效率。

不僅如此,我們對曝光系統(tǒng)進行優(yōu)化,將曝光過程中衍射誤差降到極限,保證圖案設計值與實際值一致,從而為芯片制作保駕護航。

以下是客戶實測圖片,結構高度92um,間距20um,請參考!


中芯啟恒提供一站式微流控解決方案

(1)PDMS/玻璃/PMMA等各種材質微流控芯片加工設備、耗材、試劑、配件等服務。

(2)提供微流控芯片光刻實驗室、微流控芯片軟注塑實驗室、微流控芯片封合實驗室、微流控實驗系統(tǒng)平臺組建服務。

(3)公司提供微流控芯片加工技術培訓和微流控芯片使用技術培訓。


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