精品国产亚洲国产亚洲,久热中文在线观看精品视频,成人三级av黄色按摩,亚洲AV无码乱码国产麻豆

官方微信|手機版

產品展廳

產品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設備>光學薄膜測量設備>WD4000 無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

分享
舉報 評價

WD4000 無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌 CHOTEST/中圖儀器
  • 型號 WD4000
  • 產地 學苑大道1001號南山智園B1棟2樓、5樓
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/6/24 17:36:51
  • 訪問次數 763

聯(lián)系方式:羅健查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發(fā)、生產和銷售。


中圖儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎,擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊,歷經20年的技術積累和發(fā)展實踐,研發(fā)出了基礎計量儀器、常規(guī)尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。





三坐標測量機,影像儀,閃測儀,一鍵式測量儀,激光干涉儀,白光干涉儀,光學輪廓儀,激光跟蹤儀

WD4000無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)是通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產生劃痕缺陷??杉嫒莶煌馁|不同粗糙度、可測量大翹曲wafer、測量晶圓雙面數據更準確。

無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

WD4000無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。

1、使用光譜共焦對射技術測量晶圓Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等參數,同時生成Mapping圖;

2、采用白光干涉測量技術對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面形貌、粗糙度及相關3D參數;

3、基于白光干涉圖的光譜分析儀,通過數值七點相移算法計算,達到亞納米分辨率測量表面的局部高度,實現(xiàn)膜厚測量功能;

4、紅外傳感器發(fā)出的探測光在Wafer不同表面反射并形成干涉,由此計算出兩表面間的距離(即厚度),可適用于測量BondingWafer的多層厚度。該傳感器可用于測量不同材料的厚度,包括碳化硅、藍寶石、氮化鎵、硅等。

無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

測量功能

1、厚度測量模塊:厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;

2、顯微形貌測量模塊:粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。

3、提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能。其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等;粗糙度分析包括國際標準ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數;結構分析包括孔洞體積和波谷。


WD4000可實現(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質晶圓的量測。廣泛應用于襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

無圖晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

細磨片25次測量數據Sa曲線圖


部分技術規(guī)格

品牌CHOTEST中圖儀器
型號WD4000系列
測量參數厚度、TTV(總體厚度變化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等
可測材料砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、 鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、氮化鎵、玻璃、外延材料等
厚度和翹曲度測量系統(tǒng)
可測材料砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 鎵;鍺;磷化銦;鈮酸鋰;藍寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等
測量范圍150μm~2000μm
掃描方式Fullmap面掃、米字、自由多點
測量參數厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、線粗糙度
三維顯微形貌測量系統(tǒng)
測量原理白光干涉
干涉物鏡10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個)
可測樣品反射率0.05%~100
粗糙度RMS重復性0.005nm
測量參數顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大類300余種參數
膜厚測量系統(tǒng)
測量范圍90um(n= 1.5)
景深1200um
最小可測厚度0.4um
紅外干涉測量系統(tǒng)
光源SLED
測量范圍37-1850um
晶圓尺寸4"、6"、8"、12"
晶圓載臺防靜電鏤空真空吸盤載臺
X/Y/Z工作臺行程400mm/400mm/75mm

請注意:因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。




化工儀器網

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費注冊

提示

×

*您想獲取產品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關閉在線交流功能

性色国产成人久久久精品二区三区-偷窥中国美女洗澡视频| 欧美一区二区三区调教视频-三上悠亚国产精品一区二区三区| 三级a级一级大片在线观看-日韩av有码免费观看| 亚洲永久免费在线观看-亚洲欧美导航一区二区导航| 国产aa视频一区二区三区-国产精品久久久久久久毛片动漫| 欧美精品一区二区不卡-精品国产一区二区三区香蕉网址| 久久精品国产96精品-日韩人成理论午夜福利| 国产欧美成人精品第一区-日本黄色精品一区二区| 国产欧美日韩精品一区在线-久久精品视频免费获取地址| 中文字幕日韩不卡久久-五月天中文字幕啊av| 国产精品一区二区欧美视频-国产一区二区三区天码| 国产欧美日韩精品一区在线-久久精品视频免费获取地址| 天天干天天干2018-91人妻人人澡人爽精品| 激情字幕久久久字幕中文-一区二区三区免费黄片| 国产成人高清精品免费5388-好妞色妞在线视频播放| 国产一级片久久免费看同-麻豆精品尤物一区二区青青| 日韩亚洲一区二区三区av-欧美综合在线观看一区二区三区| 深夜三级福利在线播放-日韩精品一区二区在线天天狠天| 国产传媒中文字幕在线观看-午夜福利视频在线播放观看| 欧美精品午夜一二三区-a屁视频一区二区三区四区| 国产免费高清av在线播放-成年人在线播放中文字幕| 亚洲欧洲成视频免费观看-国产福利一区二区在线观看| 日本中文字幕永久在线人妻蜜臀-欧美一区二区的网站在线观看| 中文字幕日韩精品不卡一区二区-成人av在线观看一区二区| 欧美日韩国产在线资源-超碰成人国产一区二区三区| av网址在线直接观看-黄色av全部在线观看| 小12萝自慰喷水亚洲网站-chinese偷拍一区二区三区| 黄色美女网站大全中文字幕-欧美韩国日本一区二区| 色婷婷六月婷婷一区二区-91草草国产欧美在线观看| 国产免费高清av在线播放-成年人在线播放中文字幕| 夜夜久久国产精品亚州av-欧美大屁股一区二区三区| 日韩精品一区二区三区粉嫩av-欧美亚洲国产中文字幕| 亚洲精品一区网站在线观看-黄页视频免费观看网站| 青青操视频在线观看国产-欧美成人乱码在线观看| 中文字幕日本在线资源-国产+成+人+亚洲欧洲自线| sobo欧美在线视频-免费av网址一区二区| mm在线精品视频在线观看-欧美国产日韩在线一区二区三区| 婷婷亚洲欧美综合丁香亚洲-超刺激国语对白在线视频| 欧美精品午夜一二三区-a屁视频一区二区三区四区| 中文不卡一区二区三区-老司机在线老司机在线一区| 白嫩美女娇喘呻吟高潮-久久一区二区三区日产精品|