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微型PECVD系統(tǒng)

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,材料科學(xué),質(zhì)譜儀,電化學(xué),電池,催化

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 微型 PECVD 系統(tǒng)采用 ? 3" × 16" 的石英腔體, 內(nèi)部設(shè)有加熱圈對(duì)樣品進(jìn)行加熱, 溫度可 以達(dá)到 400 ,且采用程序化控溫,系統(tǒng)還配有 2 通道混氣裝置和雙旋機(jī)械泵,整套系統(tǒng)安放于移動(dòng)架上, 便于實(shí)驗(yàn)操作。本系統(tǒng)系對(duì)于薄膜生長(zhǎng)和納米線的制作是的選擇。


產(chǎn)品型號(hào)

微型 PECVD 系統(tǒng)

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、加熱圈套有石英罩,以減小熱量損失。


2、樣品可置于加熱線圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。


3 、采用 PID 方式調(diào)節(jié)溫度, 可設(shè)置 30 段升降溫程序。


4、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上,以便于樣品的放入和取出。


5 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

等離子源


1、等離子體射頻電源: 110V/220V    50Hz/60Hz    <100W


2、輸出頻率: 13.56MHz





3、射頻功率: 7.2W 10.5W 、18W 三檔,可調(diào)節(jié)


4、腔體尺寸: 外徑 ?76.2mm×內(nèi)徑 ?68.58mm×長(zhǎng) 406.4mm


5 、加熱圈: 電源 220V ,功率 500W ,外徑 ?50mm×內(nèi)徑 ?40mm×70mm ,并套有內(nèi)徑 ?50.8mm×?75mm 的石英罩


6、法蘭: ?3″不銹鋼法蘭, 設(shè)有 KF-25 真空泵接口、 1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥


7、通入氣體:可通入多種惰性氣體,  N2 、Ar,不可通入易燃易爆性氣體


8、真空度: 10-2torr  (機(jī)械泵)

兩通道混氣系統(tǒng)


1、浮子流量計(jì): 10ml/min-100ml/min ,2 個(gè)


2、針閥: 304 不銹鋼針閥, 3 個(gè)


3、壓力表: -0.1MPa-1.0MPa0.01MPa/grid), 3 個(gè)

真空泵


1、抽氣速率: 120L/min


2、接口: KF-25

產(chǎn)品規(guī)格

1 、尺寸: 等離子源 216mm×254mm×203mm ,控制盒 102mm×254mm×203mm,兩通道混 氣系統(tǒng) 340mm×300mm×180mm  ,移動(dòng)架 600mm×600mm×1250mm


2、重量: 32kg




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