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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)> VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,材料科學(xué),質(zhì)譜儀,電化學(xué),電池,催化

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。 本機(jī)可用于強(qiáng) 酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體不可抽真空, 工作時(shí)利用真空盤吸附的 方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲(chǔ)存 12 組程序,每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn) 數(shù)不同, 使設(shè)備緩慢提升速度限速度, 有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜, 且不會(huì)過多浪費(fèi), 節(jié)約 材料。 腔室的上蓋可以對(duì)樣品進(jìn)行加熱(可選功能 ,有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進(jìn)行。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所 的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。




產(chǎn)品名稱

VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-200P

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:不需要


4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

6 個(gè)運(yùn)行階段, 每段增減速率設(shè)置范圍img2100—2000rpm/s,每段

1 設(shè)有 12 組程序, 每組包含

時(shí)間范圍: 0—60s。





2、真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。


3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。


4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。


5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單。


6 、電機(jī)采用 24V 直流無刷電機(jī),無級(jí)調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低, 震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。


7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。


8 、可在惰性氣體氣氛(如 Ar N2 )下進(jìn)行涂層。


9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。


10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。


11、全英文操作系統(tǒng)。


12、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止


13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。


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技術(shù)參數(shù)

1、電源: 220V      50HZ


2、電機(jī)功率: 350W/24V


3、轉(zhuǎn)速: 500rpm-6000rpm 之間可調(diào)


4.可儲(chǔ)存 12 組程序, 每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段,

5、每段增減速率設(shè)置范圍: 100 rpm s2000 rpm /s,每段時(shí)間范圍: 0-60s


6、吸盤規(guī)格φ 100mm


7、本機(jī)可選配加熱功能: 加溫范圍 RT-99%





加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì)

溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:φ250mm×360mm;重量: 20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

φ100mm 真空吸盤


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1 個(gè)

2

O 型膠圈

1 個(gè)



3

滴液器


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1 個(gè)

4

滴液器支架

1 個(gè)


中心定位器




5

img6


1 個(gè)



6

無油真空泵


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1 臺(tái)

可選配件

進(jìn)口移液器

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國產(chǎn)移液槍


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其它尺寸的真空吸盤


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相關(guān)產(chǎn)品

移液器

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BD-10ml 注液器

img12

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薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) TF200

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