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鈣鈦礦鍍膜機(jī)2

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,材料科學(xué),質(zhì)譜儀,電化學(xué),電池,催化

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

     鈣鈦礦鍍膜機(jī)主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、蒸發(fā)源、樣品加 熱控溫、電控系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)等部分組成。適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄 膜等,可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作, 也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作,廣泛應(yīng)用 于有機(jī)、無機(jī)、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED 等研究領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號(hào)

鈣鈦礦鍍膜機(jī)

主要特點(diǎn)

1、樣品位于真空室上方,蒸發(fā)源位于真空室下方,向上蒸發(fā)鍍膜,且蒸發(fā)源帶有擋板裝置。

  2、設(shè)有烘烤加熱功能,可在鍍膜過程中加熱樣品, 烘烤加熱溫度為 180℃。

  3、設(shè)有斷水、斷電連鎖保護(hù)報(bào)警裝置及防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置。

技術(shù)參數(shù)

1、鍍膜室:不銹鋼材料,采用方形前后開門結(jié)構(gòu),內(nèi)帶有防污板, 腔室尺寸約為 600mm×450mm×450mm

2、真空排氣系統(tǒng):采用分子泵+機(jī)械泵系統(tǒng)

3、真空度:鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa

4、系統(tǒng)漏率:≤ 1×10-7Pa

5、蒸發(fā)源:安裝在真空室的下底上; 有機(jī)蒸發(fā)源 4 個(gè)、 容積 5ml ,2 臺(tái)蒸發(fā)電源,可測(cè)溫、控溫, 加熱溫度 400℃, 功率 0.5KW;無機(jī)蒸發(fā)源 4 套、 容積 5ml ,2 臺(tái)蒸發(fā)電源, 加熱電流 300A ,功率 3.2KW;蒸發(fā)源擋板采用自動(dòng)磁力控制方式控制其開啟

  6、樣品架:安裝在真空室的上蓋上, 可放置 Ø120mm 的樣品、載玻片, 旋轉(zhuǎn)速度 0-30rpm

  7、加熱溫度: RT-180℃,測(cè)溫、控溫

  8、膜厚控制儀:石英晶振膜厚控制儀, 膜厚測(cè)量范圍 0-999999Å

 


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