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GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀2

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,材料科學(xué),質(zhì)譜儀,電化學(xué),電池,催化


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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的、 可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶, 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可依次在同一樣品上 涂覆三種材料。因此,適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備,以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。


產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25±15℃, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)


4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通風(fēng)裝置:不需要

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。


2、通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,以獲得鍍膜效果。


3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。


4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。


5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻 純凈。





6 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、靶: ?45mm


2、真空室: ?160mm×120mm


3、真空度:≤4×10-2mbar


4、靶位: 3 個(gè)


5、電流: 50mA


6、可設(shè)定最長(zhǎng)時(shí)間: 900s


7、微型真空氣閥: 連接 ?3mm 軟管


8、電壓: 1600V    DC


9、機(jī)械泵: 2L/s

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1 個(gè)

2

銅靶材

1 個(gè)

3

鋁靶材

1 個(gè)

4

進(jìn)氣針閥

1 個(gè)

5

保險(xiǎn)絲

2 個(gè)

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材




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