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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀2

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,材料科學(xué),質(zhì)譜儀,電化學(xué),電池,催化

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

        GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達(dá)50mm ,鍍膜厚度可達(dá)300Å,特別適用于SEM 樣品表面的鍍膜。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn) 象;陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小,操作簡(jiǎn)單,適合用于實(shí)驗(yàn)室中對(duì)小樣品的鍍膜使用。

產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:不需要

2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)

4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,,承重 50kg 以上

5、通風(fēng)裝置:不需要

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得的鍍膜效果。

   3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

   4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

   5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

  

技術(shù)參數(shù)

   1、電源: 220V

    2、總功率: <2000W  (包括真空泵)

    3、真空室: Ø160mm×120mm

    4 、樣品臺(tái): Ø50mm,且高度可調(diào), 可同時(shí)進(jìn)行 8 個(gè) SEM 樣品的鍍膜

    5 、max 均勻鍍膜: Ø45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 400mm×300mm×400mm;重量: 30kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1 個(gè)

2

進(jìn)氣針閥

1 個(gè)

3

保險(xiǎn)絲

2 個(gè)

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材

 



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