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透明晶圓缺陷掃描Lumina AT2-EFEM

參考價(jià) 1000000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京伊微視科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/3/19 14:42:51
  • 訪問次數(shù) 144
產(chǎn)品標(biāo)簽

AT2-EFEM缺陷掃描儀透明晶圓缺

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


北京伊微視科技有限公司是一家專注于提供顯微、膜厚測量以及光電測試設(shè)備的企業(yè)。

我們致力于為客戶提供全面的顯微設(shè)備,涵蓋從毫米到納米級(jí)別的多個(gè)領(lǐng)域。我們的產(chǎn)品線包括樣品制備設(shè)備、體式顯微鏡、數(shù)碼顯微鏡、金相顯微鏡、平面度測試儀、3D表面輪廓儀、掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡以及透明晶圓缺陷掃描儀。

此外,我們還提供專業(yè)的薄膜測量設(shè)備,包括透明/半透明薄膜的反射光譜測量儀、用于納米級(jí)別測量的橢偏儀,以及針對(duì)不透光金屬鍍膜的X熒光光譜測量儀。

在光電測量設(shè)備領(lǐng)域,我們正在不斷拓展我們的產(chǎn)品線,已代理的產(chǎn)品包括Sinton的少子壽命測試和Fluxim測量軟件。

尺有所短寸有所長,每一個(gè)品牌,每一臺(tái)設(shè)備亦如此。在客戶的需求上,提供解決方案,是我們服務(wù)的宗旨。我們不僅僅是設(shè)備的銷售商,更是為客戶提供解決方案的合作伙伴。



金相顯微鏡,平面度測試儀,3D表面輪廓儀,掃描電子顯微鏡,原子力顯微鏡以及透明晶圓缺陷掃描儀。

簡介:

透明晶圓缺陷掃描LuminaAT2-EFEM可以2分鐘內(nèi)完成300毫米晶圓的掃描,對(duì)于基底上下表面的顆粒、凸起、凹陷、劃痕、內(nèi)含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半導(dǎo)體如氮化鎵、砷化鎵、碳化硅等樣品上有的優(yōu)勢。也可用于薄膜涂層的成像厚度變化的全表面掃描。

樣品300 x 300 mm。

 

廠商簡介

Lumina Instruments,總部位于美國加利福尼亞州圣何塞,公司創(chuàng)始人在透明、半透明和不透明基板全表面缺陷檢測創(chuàng)新了更快速準(zhǔn)確的方法,因此創(chuàng)建了革命性的儀器品牌lumina.

 

技術(shù)創(chuàng)新

 

 

將樣片放入系統(tǒng)中,3~5分鐘即可完成掃描。

收集的數(shù)據(jù)將被分析,圖像和缺陷圖將由LuminaSoft軟件生成。

感興趣的缺陷可在掃描電子顯微鏡(SEM)、橢偏儀、顯微鏡等上進(jìn)行進(jìn)一步分析。

 

將樣品放入系統(tǒng)

 

 

微信截圖_20240110115051.png


直徑為30微米的綠色激光以50毫米的直線運(yùn)動(dòng),反射光和散射光由四個(gè)探測器捕獲。

 

四通道檢測

AT2-EFEM有四個(gè)檢測通道。它們同時(shí)運(yùn)行以生成四個(gè)獨(dú)立的圖像。每個(gè)通道有助于檢測和分類某些缺陷。

極化:薄膜缺陷、污漬

反射率:劃痕、內(nèi)應(yīng)力*、玻璃內(nèi)的條紋*

坡度:劃痕、凹坑、凸起、表面形貌

暗場:納米顆粒、包裹體

 

詳情7.png


 

透明晶圓缺陷掃描Lumina AT2-EFEM:采取的樣品尺寸為300mm;光斑的大小在60μm也可以選擇30或10μm;靈敏度在300nm理想;掃描時(shí)間在40/50/120s。

 

 

AT2應(yīng)用案例:

內(nèi)部缺陷:在融化階段,玻璃內(nèi)含有污染物

 

內(nèi)應(yīng)力:生產(chǎn)過程中玻璃內(nèi)部形成的張力或折射率內(nèi)部變化。

 

污漬:由于薄膜殘留或清洗過程導(dǎo)致表面變色。

 

附圖4.png


 

 




化工儀器網(wǎng)

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