性能參數(shù)

l 域勢很高興為您提供本公司的真空閥。這些閥門是長期精心研發(fā)的成果，旨在確保產(chǎn)品質(zhì)量、可靠性和價值。我們竭盡全力提供適合不同客戶要求的閥門系列。我們的閥門能在各種應(yīng)用場合中可靠運行，包括存在化學(xué)和微粒污染的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。

l 使用壽命長。                                          

l 不銹鋼焊接波紋管密封。

l Viton，密封圈可間歇性烘烤至200℃。                    

l 結(jié)構(gòu)緊湊。

l 通過電磁閥進(jìn)行簡單控制。                              

l 維護簡單快捷。

l 手動或電氣動操作或安全故障操作（氣壓損失時關(guān)閉）。

規(guī)格

l 閥體            SUS304（可根據(jù)要求提供其他材質(zhì)）

l 提升閥           SUS304（可根據(jù)要求提供其他材質(zhì)）

l 波紋管           焊接AM-350（選配）

l 電磁閥           選配

l 位置指示器        選配

l 密封            Viton O型圈

l 泄漏率           2x10^-9mbar.1/s

l 壓力范圍         1x10^-9mbar至1000mbar Viton密封圈

l 開啟前的最大壓力△   1.2Bar

l 工作氣壓         4-6.5kg/cm²

l 維修前的循環(huán)次數(shù)    波紋管型：16至50-50,000；63至150-250,000；200至250-80,000

   非波紋管型：16至50-200,000；63至250-10,000（取決于O型圈的狀況）

                （非波紋管型建議垂直安裝）

l 耐溫限制：

l 可根據(jù)要求提供更大或特殊尺寸。

用途

l KF、ISO和ANSI端口型號專為真空壓力接近10-9torr且烘烤溫度不超過150℃的高真空應(yīng)用而設(shè)計。標(biāo)準(zhǔn)的國際KF/ISO配置和ANSI配置用于需要易于安裝和拆卸的法蘭式密封的區(qū)域。

l CF端口型號專為真空壓力接近10-10torr且烘烤溫度不超過200℃的超真空應(yīng)用而設(shè)計。在使用OFHC無氧銅墊片而非傳統(tǒng)的Viton O型圈時，這些閥門具有更高的烘烤溫度、更低的真空壓力（釋氣最少），以及更低的真空漏率。它們還常用于需要更持久密封的應(yīng)用。

雙動式帶波紋管ISO法蘭角閥

氣動執(zhí)行器，帶波紋管

雙動式，氣動開啟，氣動關(guān)閉

ISO法蘭

雙動式帶波紋管ISO法蘭角閥

性能參數(shù)

l 接口：CF法蘭

l 不銹鋼閥體表面處理：低于4英寸拋光,4英寸以上（包括4英寸）噴砂

l 端口外徑為2.5-3英寸（63.5-76.2mm）

l 工作氣壓：4-6.5bar

l Viton密封圈：真空度10^-9mbar

規(guī)格：美規(guī)

注：除非另有說明，否則尺寸單位為英寸（毫米）。

規(guī)格：歐規(guī)                                可根據(jù)要求提供特殊尺寸