QUASAR-R100系列 反射式膜厚儀
- 公司名稱 北京愛蛙科技有限公司
- 品牌 晶諾微
- 型號 QUASAR-R100系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/4/2 17:12:36
- 訪問次數(shù) 122
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反射式膜厚儀 QUASAR-R100系列
反射式膜厚儀 QUASAR-R100 是一款體積小巧的光譜反射式膜厚、折射率等測量儀器,操作簡單,極易上手,應(yīng)用廣泛,快速準(zhǔn)確的提供各種薄膜厚度的測量,如氧化物、氮化物、多晶硅、非晶硅、聚酰亞胺、透明導(dǎo)電層、光刻膠等介質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜以及各種涂層。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、LED、OLED、液晶、聚合物鍍膜及科研實(shí)驗(yàn)室鍍膜等領(lǐng)域。反射式膜厚儀QUASAR-R100軟件還擁有豐富的的材料數(shù)據(jù)庫??蛻暨€可以通過軟件及自帶數(shù)據(jù)庫對材料,菜單進(jìn)行管理,并具有豐富的數(shù)據(jù)查看、統(tǒng)計(jì)功能。
反射式膜厚儀 QUASAR-R100產(chǎn)品的特點(diǎn)
~多參數(shù)測量
可測量材料厚度、折射率(Refractive Index)、 消光系數(shù)(Extinction Coefficient)和反射率。
~各種形狀樣品測量
可測量例如4~8英寸的晶圓、方形樣品或其他各種不規(guī)則形狀樣品。
~軟件功能豐富
友善的用戶界面以及靈活豐富的軟件功能,各種豐富的數(shù)據(jù)分析及查看功能。
~簡單、易用
測量流程簡單,用戶極易上手建立測量程式。
反射式膜厚儀 QUASAR-R100應(yīng)用的領(lǐng)域
~半導(dǎo)體鍍膜
~光刻膠
~抗反膜測量
~藍(lán)寶石鍍膜
~ITO 玻璃
~液晶面板鍍膜
~太陽能鍍膜
~汽車硬度層厚度
~其他介質(zhì)膜厚度
反射式膜厚儀 QUASAR-R100 產(chǎn)品的參數(shù)規(guī)格
型號 | Quasar R100 |
厚度測量范圍 | 15nm~10um |
光源 | 380-1100nm |
測量n和k最小厚度 | 50nm |
準(zhǔn)確度(較大者) | 2nm |
or 0.2% | |
精度★(1σ) | 0.02nm |
穩(wěn)定性★ (1σ) | 0.04nm |
光斑尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)1.5mm |
可選配最小20um | |
樣品大小 | 直徑1mm~3mm,以及更大 |
★Si基底上對厚度約500nm的SiO2薄膜樣品連續(xù)測量30次數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差
~產(chǎn)品的定制功能
可根據(jù)客戶需求搭配自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺
可根據(jù)客戶需求配置小光斑