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BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì)
參考價(jià) | ¥15800-¥20000/件 |
- 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
- 品牌INFICON/美國(guó)
- 型號(hào)
- 所在地杭州市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時(shí)間2024/10/8 16:09:27
- 訪問(wèn)次數(shù) 264
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì)
對(duì)于測(cè)量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用,Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 真空計(jì)。BPG552 由一個(gè) Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個(gè)經(jīng)典、堅(jiān)固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了超卓的精度、可重復(fù)性和使用壽命。
優(yōu)勢(shì)
1,雙測(cè)量?jī)x(2 個(gè)傳感元件),測(cè)量范圍寬,降低成本,節(jié)省空間
2,用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
3,皮拉尼互鎖保護(hù),避免燈絲過(guò)早燒毀
4,自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
5,電隔離電子元件,避免雜散電流
6,滑動(dòng)排放模式,避免切換排放流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
7,可移動(dòng)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片延長(zhǎng)了烘烤時(shí)間
8,設(shè)定點(diǎn)繼電器
9,明亮大屏幕 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉(zhuǎn)),帶用戶界面
10,模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11,可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12,向后兼容 BPG402
13,符合 RoHS 規(guī)范
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制 超高真空范圍
測(cè)量范圍(空氣、O2、CO、N2) 5 × 10-10 … 1000 mbar
準(zhǔn)確性 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar 讀數(shù)的 ±15
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar 讀數(shù)的 ±30
重復(fù)性 讀數(shù)的 5%,10-8 ... 10-2 毫巴(穩(wěn)定 10 分鐘后)
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢
BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì)
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