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MILA迷你小型快速退火爐3寸

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快速退火爐小型快速退火爐

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昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導(dǎo)體企業(yè)。

昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應(yīng)測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(jī)(Die Bonder),劃片機(jī)(Scriber),球焊機(jī)/鍥焊機(jī)(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE),ICP刻蝕機(jī),等離子體刻蝕機(jī);

- 致冷機(jī)/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機(jī)

RTP-1250小型真空快速退火爐(RTP/RTA)為日本進(jìn)口的快速退火爐。

該儀器:尺寸小巧,使用風(fēng)冷、無須水冷,電流要求不高(3安培),性價(jià)比高,使用方便,非常適合科研院所的科研使用。

 

技術(shù)規(guī)格:

  - 加熱方式:紅外鹵素鎢燈,600W;
  - 鹵素紅外燈數(shù)量:4支;

  - 升溫速率:100℃/秒;

  - 降溫速率:50秒(1000℃ → 400℃);

  - 溫度:1200℃;

  - 溫度精度:+/-0.3℃

  - 樣品尺寸:50 x 50mm,3寸;

  - 退火環(huán)境:真空、惰性氣體、空氣、其他工藝氣氛(如氧氣、氫氣等);

  - 真空泵及極限壓力:機(jī)械泵,10-3Torr水平(選配);

  - 電壓:220 V,單相;

  - 儀器尺寸:400*300*450mm (W*D*H);

  - 質(zhì)量:凈重30Kg;

儀器特點(diǎn):

  - 可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下,對樣品進(jìn)行快速熱處理;

  - 溫控精度高;

  - 適合高?;蜓芯克蒲惺褂茫?/p>

  - 無須額外的冷卻系統(tǒng);

  - 緊湊的臺式設(shè)計(jì);

  - 儀器操作方便,樣片裝取容易;

  - 價(jià)格合理,高性價(jià)比;

應(yīng)用領(lǐng)域:

  - 快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);

 - 快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);

  - 快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);

  - 硅化 (Silicidation);

  - 擴(kuò)散 (Diffusion);

  - 化合物半導(dǎo)體退火 (Compound Semiconductor Annealing);

  - 離子注入后退火 (Implant Annealing);

  - 電極合金化 (Contact Alloying);

  - 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);

  - 合金熔點(diǎn)分析;

  - 薄膜沉積;

    等等…



相關(guān)分類

氧化擴(kuò)散設(shè)備


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