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EFC270 杜邦 刻蝕殘留物去除液

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團(tuán)隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。   未來公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品,同時也與全國各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)?!?/span>

納米圖形發(fā)生器,離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機、去膠設(shè)備等

供貨周期 現(xiàn)貨 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣

EFC265   接觸清潔,金屬線清潔,TSV深硅穿孔清潔等

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除

 

 

 

杜邦plasmasolv®ekc265蝕刻后殘留物去除      

   

 

清洗接觸,金屬,穿孔和Pad

 

 

高度選擇性的殘留物去除 應(yīng)用:        

應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),以滿足關(guān)鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ DRAM 70nm集成的各個階段

下面列出了常見的應(yīng)用程序: 

 

接觸清潔            

金屬線清潔

TSV深硅穿孔清潔           

鎢埋位線清洗            

聚酰亞胺清洗            

Pad清潔            

MEMS清洗

特征:

所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案

除重有機殘留物

寬工藝窗口

高產(chǎn)率 

穿孔接觸電阻降低

鋁清洗行業(yè)基準(zhǔn)




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