原位MEMS加熱電學(xué)測量系統(tǒng)
- 公司名稱 北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司
- 品牌 ZEPTOOLS/澤攸科技
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/9/23 15:46:45
- 訪問次數(shù) 279
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 鎢燈絲或六硼化鑭 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
產(chǎn)品描述
PicoFemto透射電鏡原位MEMS加熱/電學(xué)樣品桿,透射電子顯微鏡是提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。透射電子顯微鏡原位加熱/電學(xué)測量系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學(xué)測量芯片。微加熱芯片可對樣品進(jìn)行可控溫度的加熱,電學(xué)測量芯片可對樣品進(jìn)行電性質(zhì)測量。并可在進(jìn)行加熱和電學(xué)測量的同時(shí),動(dòng)態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征,大大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。
本系統(tǒng)硬件包括兩部分,分別是加熱/電學(xué)測量控制器、原位MEMS芯片樣品桿。軟件包括自動(dòng)控溫軟件和自動(dòng)電學(xué)測量軟件。
• 性能指標(biāo)
透射電子顯微鏡指標(biāo):
△ 兼容型號電鏡及極靴;
△ 單傾可選高傾角版本;
△ 可選雙傾版本,β角傾轉(zhuǎn)±25°(同時(shí)受限于極靴);
△ 測量電極數(shù)可選。
電學(xué)測量指標(biāo):
△ 包含一個(gè)電流電壓測試單元;
△ 電壓輸出Z大±200 V,Z小±100 nV;
△ 電流測量Z大±1.5 A,Z小100 fA;
△ 恒壓或者恒流模式;
△ 自動(dòng)電流-電壓(I-V)測量、電流-時(shí)間(I-t)測量,自動(dòng)保存。
加熱與溫控指標(biāo):
△ 溫度控制范圍:室溫到1200 ℃;
△ 加熱功率:Z大30 W;
△ 控溫穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃;
△ Z大升溫速率:1000 ℃/ms