JY-S100 PLUS離子濺射儀(噴金儀)
- 公司名稱 廣州競贏科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 競贏
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/7 10:21:27
- 訪問次數(shù) 1422
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
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濺射氣體 | 空氣和氬氣 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,電子,電氣,綜合 |
JY-S100PLUS 是一款桌上型冷態(tài)磁控濺射鍍膜系統(tǒng),標(biāo)配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺,特別適用于各種表面形貌的非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡成像中的高質(zhì)量鍍膜,也可滿足電極鍍膜,半導(dǎo)體等材料鍍膜的要求。
JY-S100 PLUS離子濺射儀(噴金儀)主要特性
通過新型高效低壓直流磁控頭進(jìn)行“超冷”濺射,避免樣品表面受損;
對于近距離的樣品,新型磁控管設(shè)計可提供廣角覆蓋濺射;
用于泄氣、吹掃和排氣的獨立電磁閥設(shè)計,確保設(shè)備的快速運行;
噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材:Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd(Pt 靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。
JY-S100 PLUS離子濺射儀(噴金儀)技術(shù)參數(shù)
濺射系統(tǒng) | |
靶材 | Pt 靶為標(biāo)配,可選 Au,直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
標(biāo)配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺 | 旋轉(zhuǎn)速度:0~60rpm 連續(xù)可調(diào),傾斜角度:-45°~ 45°連續(xù)可調(diào); 不銹鋼腔體:直徑 120mm X 高 75mm; 觀察窗:直徑 120mm X 高 45mm; 標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺直徑 40mm,可放 4 個標(biāo)準(zhǔn)樣品臺,其它規(guī)格可訂做;具有雙重鎖緊裝置,可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時不會松動脫落。 |
濺射電流 | 微處理器控制,安全互鎖,電流 5~40mA |
濺射頭 | 新型低電壓磁控管設(shè)計,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
計量表 | 真空: Atm ~ 3 Pa,電流:0~99mA |
控制方法 | 帶有“開始”“暫?!卑粹o的微處理控制器(1-999s),自動抽氣、濺射、關(guān)機(jī)后自動放氣。 |
真空系統(tǒng) | |
抽氣速率 | 133L/MIN |
極限真空 | 0.05 Pa |
噪音 | 56dB |