產(chǎn)品簡介：

采用傳統(tǒng)激光檢測(cè)探針的原子力顯微鏡（AFM），經(jīng)典傳承、品質(zhì)。集成了多模式和多功能的、國際和研究級(jí)的掃描探針顯微鏡產(chǎn)品。

儀器特點(diǎn)

• 采用激光探測(cè)探針，支持接觸模式和輕敲模式的形貌成像。

• 具備力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等測(cè)量分析功能。

• 采用高精度嵌入式測(cè)控系統(tǒng)，主機(jī)隔音抗震設(shè)計(jì)，抗干擾能力強(qiáng)。

• 可擴(kuò)展納米加工、掃描隧道顯微鏡、靜電力顯微鏡等掃描探針顯微鏡功能。

• 可選配不同掃描范圍的管型掃描器，或平面閉環(huán)型掃描器。

• 可通過選配模塊和擴(kuò)展接口增強(qiáng)系統(tǒng)功能。

激光檢測(cè)示意圖

主要技術(shù)參數(shù)

• 一鍵式快速自動(dòng)進(jìn)樣，行程23mm，最小步距50nm。

• 手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品檢測(cè)位置，調(diào)節(jié)范圍±10.0mm。

• 樣品尺寸的直徑20mm，厚度20mm。

• 標(biāo)配管型掃描器，掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

• 樣品逐行掃描成像，掃描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次掃描多幅圖像，圖像分辨高達(dá)1024×1024物理象素。

• 內(nèi)置數(shù)模混合結(jié)構(gòu)的鎖相放大器，數(shù)字化PID反饋控制的響應(yīng)時(shí)間為10μs。

• 嵌入式測(cè)控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器（ARM + DSP），與上位機(jī)連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。

標(biāo)準(zhǔn)配置：

• 主控制器

• 主機(jī)底座及隔音罩

• 主機(jī)探頭及探針架（L型）

• 手動(dòng)樣品調(diào)節(jié)臺(tái)（調(diào)節(jié)范圍±10.0mm）

• 管型掃描器（掃描范圍20μm）

• 計(jì)算機(jī)及專用測(cè)控軟件

• 儀器附件

L型探針架（上：正面；下：背面）

選配模塊：

• 納米加工模塊，包括：圖形化納米加工、機(jī)械刻蝕、矢量掃描等功能

• 掃描隧道顯微鏡（STM）模塊，包括：掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架（WinSPM T-Probe）  

• 輔助觀察光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)：物鏡倍數(shù)：0.7X～4.5X；總放大倍數(shù)：42-266X連續(xù)可調(diào)（14”有效顯示面積）；工作距離：115mm 

• 管型掃描器模塊：掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格

• 平面閉環(huán)掃描器：掃描范圍為30μm×30μm×9μm，閉環(huán)分辨率約1.5nm，垂直方向的諧振頻率約為40kHz

• 導(dǎo)電原子力顯微鏡（C-AFM）

• 靜電力顯微鏡（EFM）

• 磁力顯微鏡（MFM）

應(yīng)用領(lǐng)域及實(shí)驗(yàn)

• 實(shí)驗(yàn)一：原子力顯微鏡的基本原理與應(yīng)用，典型的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榧{米研究、教學(xué)教育。

• 實(shí)驗(yàn)二：原子力顯微鏡形貌成像及分析，典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括：軟磁盤或光盤等常規(guī)樣品形貌成像及分析、光柵樣品的形貌成像及關(guān)鍵尺寸測(cè)量、納米臺(tái)階的測(cè)量分析。

• 實(shí)驗(yàn)三：譜曲線測(cè)量與納米力學(xué)實(shí)驗(yàn)，典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括：力-距離曲線的測(cè)量分析、液體膜厚度的測(cè)量與分析。

• 實(shí)驗(yàn)四：掃描隧道顯微鏡（STM），包括形貌成像和隧道譜。（需增配STM模塊）

• 實(shí)驗(yàn)五：納米加工實(shí)驗(yàn)，如圖形化納米刻蝕實(shí)驗(yàn)。（需增配納米加工模塊） 

• 實(shí)驗(yàn)六：其它基于特殊針尖或?qū)嶒?yàn)方法的原子力顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域，包括：導(dǎo)電原子力顯微鏡（C-AFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、磁力顯微鏡（MFM）等。（需增配或定制相應(yīng)的功能模塊）。